不規則非球面光學元件應力分布測量系統
(透鏡測量等)
不規則非球面光學元件(光刻機透鏡等)應力分布測量系統
利用調制器技術, 公司的測量系統可以在深紫外(193nm)波段進行應力雙折射探測。針對特定材料制作(氟化鈣)和特定形狀(非球面透鏡)有著的技術解決方案。
應力雙折射測量系統,非球面透鏡應力雙折射測量,應力,應力橢偏測量
Hinds 公司的不規則非球面光學元件應力分布測量系統(應力雙折射測量系統)通過對光的調制解調可以測出待測光學元件中的雙折射大小和方向,這些數據同時也表示了應力的大小和方向。Hinds 公司這套不規則非球面光學元件應力分布測量系統的傾斜,多角度入射掃描技術可以保證對非球面不規則的光學元件(光刻機透鏡等)有著的掃描測量解決方案。
產品特點:
1. 全套內置軟件自動掃描成圖
2. 非球面掃描(手動宏程序)
3. 應力大小及方向分布探測成圖
4. 定制各種尺寸形狀樣品臺
5. 探測強度:皮瓦
產品參數:
1. 可見光波段探測延遲范圍:0 to 300+nm
2. 深紫外波段探測延遲范圍:0 to 90+nm
3. 可見光波段應力探測精度:0.001nm / ±0.03 (up to 3nm, 1% thereafter)
4. 深紫外波段應力探測精度:0.001nm / ± 0.08 nm (up to 4nm, 2% thereafter)