Xper-IP激光干涉膜厚測(cè)量?jī)x
Xper-IP是基于公司的光譜干涉技術(shù)的一款激光干涉膜厚儀,是一種非接觸式、無(wú)損的、且快速的光學(xué)薄膜厚度測(cè)量設(shè)備。Xper-IP可用于測(cè)量各種材料(如各種薄膜,鍍膜,顯示面板等)的厚度。
薄膜測(cè)厚儀,激光,膜厚測(cè)量?jī)x,激光干涉薄膜測(cè)量系統(tǒng)
韓國(guó)Nanobase公司是一家專(zhuān)注于激光和光譜測(cè)量領(lǐng)域的高科技公司,旗下有多種產(chǎn)品,包括成像系統(tǒng),光學(xué)相干斷層掃描系統(tǒng),和激光干涉薄厚測(cè)量?jī)x。
Xper-IP正是基于Nanobase的光譜干涉技術(shù)的一款膜厚測(cè)量?jī)x,是一種非接觸式、無(wú)損的、且快速的光學(xué)薄膜厚度測(cè)量設(shè)備。Xper-IP可用于測(cè)量各種材料(如各種薄膜,鍍膜,顯示面板等)的厚度,產(chǎn)品具有以下特點(diǎn):
精度 ±0.2 %
重復(fù)準(zhǔn)度 ±0.003 %
超寬測(cè)量范圍 0.03 mm to 1.2 mm
人性化軟件,易于使用
性?xún)r(jià)比高
同時(shí)測(cè)量多層膜厚
結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,適用于實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)環(huán)境
參數(shù)
型號(hào) | Xper-ITP(激光干涉測(cè)厚) | Xper-(激光干涉測(cè)表面形貌) |
測(cè)量范圍 | 100-1000微米,200-2000微米,(或者定制波長(zhǎng)范圍,與分辨率成反比) | |
準(zhǔn)確度 | ±0.2 % | |
重復(fù)性 | 單點(diǎn):0.01% full range(<>) 平均:0.003% full range(<>) | |
速度 | 激光:標(biāo)準(zhǔn)30pps,(Max:100,000pps) | |
光源 | 激光:SLD(840nm) |
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體,太陽(yáng)能,SiC Coat, Si Coat, Polished Si, Optical disk
平板顯示,Cell gap, Glass thickness, DLC, Highfunction film
光學(xué)薄膜,科研聚合物材料等,AR film, PET, Coating layer, Coating film, Evaporation film, Functionality film, Acrylic resin, Video head, etc.
測(cè)量原理
原理圖
示例