150AT全自動測量系統
全自動應力雙折射測量系統
150AT 應力雙折射系統是應力雙折射測量系統家族系列產品。該應力雙折射測量系統既可作為實驗室科研探索測量光學組件應力分布測量，也可用作諸如玻璃面板，透鏡，晶體，硅/多晶硅、注塑成品等工業生產中檢測產品應力分布。產品軟件直觀顯示待測樣品應力情況，便于操作和日常監測。
150AT 應力雙折射系統可以根據客戶需求選擇設置，使得測量更有針對性（高精度/大范圍相位延遲量），系統有著測量速度的同時也具有的測量分辨能力（<1 mm="" grid="" spacing="">等設計來幫助客戶完成一些非常規掃描/測量需求。
產品特點
自動X/Y位移平臺掃描
二維/三維圖形/參數表格顯示樣品應力分布測量結果
臺式整機設計組裝
靈活位移平臺設計，滿足個性化定制需求
強大數據擬合分析功能和友好用戶界面
參數
高精度測量系統選項 | 大范圍相位延遲量測量選項 | |
相位延遲量范圍: | 0.005 to 120+ nm | 0.005 to 300+ nm |
相位延遲量測量分辨率/ | 0.001 nm / ± 0.008 nm | 0.0 1 nm / ± 0.015 nm |
角度測量分辨率 / | 0.01o / ± 0.05° | 0.01o / ± 0.07° |
測量速率 / 時間4: | up to 100 pps / | |
尺寸: | 910 mm (H) x 415 mm (W) x 700 mm (D) | |
光源波長5: | Various (632.8 nm standard) | |
測量光斑6: | Between 1 mm and 3 mm native | |
內置測量調制頻率: | PEMLabsTM Photoelastic Modulator | |
解調分析技術: | Hinds Instruments SignalocTM | |
測量單位: | nm (retardation), ° (angle) |
1 Typical performance at 5 nm retardation
2 Up to 0.8 nm, 1% thereafter
3 Up to 1.5 nm, 1% thereafter
4 Maximum data collection speed. Sample XY scan time dependent on stage movement parameters.
5 Custom wavelengths available
6Spot sizes of less that 1 mm native require optional high resolution detector module
選項:
* Additional Polarization Parameters
* 超高速掃描選項
* 光譜掃描測量和RGB測量
* 客戶定制內置波長選項（紫外/紅外）
* 手動/自動傾斜位移平臺裝置
* 定制樣品平臺加持誰記
* 定制化顯示界面 (UI or DLL)
* 應力計算評估軟件
