•半導體分析光譜儀CryoSAS

CryoSAS是布魯克光譜公司生產的專門用于硅材料分析的一體化的低溫檢測系統。            
CryoSAS*地將高性能的布魯克FT-IR光譜技術與現代化與方便實用的低溫閉循環致冷系統結合在一起，擺脫了通常進行高靈敏度檢測時對液氦的依賴。CryoSAS的全部組件都采用了的一體化和人性化的結構設計理念，使得這樣的系統能夠適應硅材料生產中的不同使用環境。

CryoSAS系統的主要指標為： 
光譜范圍：1500-280cm-1
半導體分析可安裝九個樣品的樣品架,樣品的尺寸：zui多可一次安放九個樣品，樣品的尺寸為：直徑或邊長為10mm的圓形或方形樣品，厚度為2.5~5mm
光譜分辯率：0.5cm-1
優化設計的光譜儀能夠同時檢測 III、V族摻雜元素(如硼、磷等淺雜質態)在單晶硅中的硅中取代碳,間隙氧含量的測定等。