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全自動工業 WLI-AFM 系統|Park NX Hybrid WLI|無錫東立

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海百賀儀器科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號|Park NX H
  • 所  在  地
  • 廠商性質經銷商
  • 更新時間2024/2/10 17:29:39
  • 訪問次數93
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上海百賀儀器科技有限公司由上海佰衡儀器科技有限公司組建而來。多年來佰衡儀器精心研發制造各種試驗機、試驗箱及非標準設備,服務于全國各大企業院所,是一家技術型的生產廠家。為了更好服務客戶,滿足用戶一站式的采購需求,上海百賀儀器順勢而生,并與國內外多家優秀儀器供應商*保持良好穩定的合作關系,能夠在產品價格、技術服務、儀器維修、配件供給、軟件升級等方面得到更多的支持,讓客戶獲取更多的增值服務。
      
上海百賀儀器科技有限公司秉承‘佰衡儀器’的經營理念,一直致力于提升中國實驗室檢測水平,作為專業化的儀器公司,我們能為您提供更全面、更優質、更專業的實驗室解決方案。百賀儀器的產品及服務涉及金屬、橡膠、塑料、石油、建筑材料、汽車、電子、電工、家電、醫療、包裝印刷等諸多領域,享譽八方。
百賀儀器堅持“客戶*,服務*”的服務理念,崇尚“誠信、奉獻、共贏”的企業價值觀,勵精圖治,開拓進取。公司由一支充滿活力的高素質開拓型團隊組成,技術過硬,經驗豐富,可以滿足不同客戶的需求,為客戶提供周到、熱情、滿意的服務。不論是售前還是售后服務,百賀儀器都力求嚴謹、及時、全面;換位思考,仔細傾聽,做客戶忠實的顧問式伙伴。
 
百賀儀器的承諾:*的品質,專業的服務。
百賀儀器的目標:您Z貼心的實驗儀器供應商。
顯微鏡,拉力試驗機,硬度計,高低溫試驗箱,磨拋機,切割機,玻璃紙
Park NX Hybrid WLI是一款具有內置WLI輪廓儀的AFM,用于半導體和相關制造質量保證。例如半導體前端、后端到高級封裝的過程控制,以及研發計量。它適用于那些需要在大面積上進行高吞吐量測量的設備,這些設備可以縮小到具有亞納米分辨率和超高精度的納米級區域。
全自動工業 WLI-AFM 系統|Park NX Hybrid WLI|無錫東立 產品信息

半導體計量的兩種互補技術。
WLI: 白光干涉測量是一種光學技術,它可以對非常寬的區域進行成像,速度非常快,滿足高吞吐量測量。
AFM: 原子力顯微鏡是一種掃描探針技術,即使對透明材料也能提供確的納米級分辨率測量。

WLI和AFM在視野,分辨率和速度方面結合。

WLI應用需要比WLI 能力更高的分辨率和精度
的化學機械拋光計量和監測
封裝
全掩模的熱點和缺陷檢測
晶圓級計量

AFM應用需要更大的區域和更高的吞吐量
In-line 晶圓計量
長行程CMP輪廓表征
亞埃級表面粗糙度控制
晶圓檢驗與分析

NX-Hybrid WLI 功能
Park WLI系統
Park WLI支持WLI和PSI模式(PSI模式由電動過濾器變換器 支持)
可用物鏡放大倍數:2.5X 、10X、20X、50X、100X
兩個物鏡可由電動線性換鏡器自動更換

WLI光學干涉測量
掃描 Mirau 物鏡高度時,由干涉引起的光強變化可以計算每個像素處的樣品表面高度
白光干涉測量 (WLI) 和相移干涉測量 (PSI) 是兩種常用的表面表征技術

NX-Hybrid WLI 應用
熱點檢測和審查
熱點快速調查和熱點缺陷自動審查
可以通過比較參考和目標樣品區域的圖像來檢測圖案結構的熱點
WLI 的高速“熱點檢測”可以快速定位缺陷位置,以進行高分辨率 AFM 審查

關鍵詞:顯微鏡
15168338725
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