玻璃真空吸盤，可定制玻璃內部管道
圖1 晶圓真空吸盤
玻璃真空吸盤（Vacuum Chunk）特別適用于晶元半導體行業，其又被稱為晶元吸盤、零膨脹玻璃真空吸盤、定制真空吸盤或晶元真空吸盤。這種新型晶元吸盤主要應用在晶元設備上，通過在零膨脹玻璃吸盤內部挖出通孔，當吸盤通孔內的空氣被真空泵抽走時，內部形成真空狀態，吸盤唇和被吸附的物體表面之間的壓強變大，從而產生吸力，即利用內外壓強差吸附在物體表面上。
該定制真空吸盤使用零膨脹玻璃，這種材質是一種具備特殊性能的玻璃，高穩定性、高尺寸穩定性、低導熱率以及高耐腐蝕性的是它的主要優勢，但它同時會比傳統玻璃的造價高昂，工藝水平的要求則要更為。
我們具有強大的光學加工能力，能提供定制玻璃真空吸盤，定制晶元真空吸盤或晶圓真空吸盤，包括玻璃的形狀尺寸、吸嘴的位置、內部管道的走向，同事具備批量化的加工能力，滿足用戶的各類應用需求。
