可升級450 PM手動探針平臺,6-8英寸晶圓測量
450PM手動探針平臺技術規格:
450PM 手動探針平臺整體尺寸 | ||
設備占地面積(寬度 x 深度) | 22.75 x 23.35英寸(57.7 x 59.3 cm ) | |
探針臺尺寸(寬度x深度x高度) | 28.5 x 26.75 x 21.5英寸(72.3 x 67.9 x 54.6 cm ) | |
探針臺重量 | 191磅(86.6 kg ) | |
X-Y平臺移動 | ||
行程 | 8 x 8英寸(200 x 200 mm ),手動控制 | |
分辨率 | 1 um per degree | |
顯微鏡 | ||
精細聚焦控制精度 | 1英寸(25.4 mm ) | |
行程(X-Y) | 8X8英寸(200X200 mm ) | |
鋁壓板 | ||
450PM-A | Z軸行程 | 1英寸(25.4 mm ) |
分辨率 | 40 um(0.0015英寸)/轉 | |
450PM-B | 固定鋁壓板 |
450PM手動探針平臺為您提供了一個具有成本效益的擁有Micromanipulator品牌較高性能探針平臺的選擇,450PM正在成為范圍內測試實驗室選擇的手動探針平臺。
美國 Micromanipulator 設計的450PM 8英寸晶圓探針平臺通過其較低的成本和穩定可靠的探測性能來體現自己的價值的。450PM手動探針平臺的設計是基于 Micromanipulator 旗下較受歡迎的4060手動探針平臺,450PM手動真空探針系統具有有廣泛的應用范圍和靈活的應用的設置,是可進行6-8英寸晶圓檢測的 Micromanipulator真空探針臺。
客戶希望 Micromanipulator真空探針臺保持品牌一貫的開放、靈活的系統設計,使450PM手動真空探針系統在提供測量穩定性的同時,支持與其他探針、探針卡、微操縱器等精確、可靠的機械裝置結合使用。450PM手動8英寸晶圓探針平臺在繼承這一傳統的基礎上為那些不需要探針平臺具有低電流使用能力和精確定位能力的客戶提供了一種更加經濟的進行6-8英寸晶圓檢測的緊湊型手動探針平臺的選擇。同時450PM手動探針平臺還加上了一些 Micromanipulator 品牌中銷量較好的4000和8000系列探針平臺上一些便利功能。
450PM手動真空探針系統為日常分析測量提供了一個高性能的緊湊型手動探針平臺解決方案,并提供豐富的配件選擇,以便根據您的具體需要配置450PM手動真空探針系統來進行6-8英寸晶圓檢測。探針卡座、熱壓版、 操縱器、的探針支架、隔震臺、顯微鏡及其配套的攝像系統等都是常用的配置選項。
450PM手動探針平臺
450PM手動8英寸晶圓探針平臺的特點和便利性:
-較高壽命的手動螺桿控制平臺;穩定、高效的定位
-可用于直流、射頻、微波和高功率應用
-450PM-A型號上提供螺桿控制的壓盤,用于探針卡的固定。
-手動壓板是帶有鎖扣的,可以進行θ旋轉
-手動 X-Y 軸定位可滿足精確聚焦的要求以配合穩定吊桿上的立體變焦復合顯微鏡使用。
-符合人體工學的緊湊設計提高了使用便利性,同時增加了穩定性
-緊湊型手動探針平臺的設計減小了設備占地面積,能夠有效利用實驗室空間
-大型鋁壓板允許操作員選擇合適的位置使用微操縱器
-8英寸(200 mm )的常溫真空壓板,具有全晶圓覆蓋級尺寸的行程
-可選配冷/熱夾具、熱壓板、內部電纜、軟管等組件,在探針平臺的后部有終端方便進行操作。
-可升級的設計方便450PM手動探針平臺與其他探針、微操縱器等機械設備結合使用
450PM可升級手動探針平臺常見的升級選擇:
-更高分辨率光學元件
-更高準確度的光學定位器件
-可選配熱壓板,溫度可提升到400 °C
-升級的探針卡硬件
-其他效率提升的因素
450PM手動真空探針系統可選配件信息:
-微操縱器:110/210系列;525系列
-熱壓板:H1000系列熱壓版
-顯微鏡:復合顯微鏡
-防止光線入射的外殼
-視頻拍攝設備