非接觸式金屬膜厚測量儀
昊量光電新推出用于導電薄膜和薄金屬層膜厚測量的非接觸式金屬膜厚測量儀EddyCus TF Series，這款金屬膜厚測量儀可以非接觸式實時測量，對導電薄膜的膜厚精確測量，表征已被隱藏和封裝的導電層，并把測量數據保存和導出。
非接觸式金屬膜厚測量儀主要測試對象：
鍍膜建筑玻璃，如LowE
顯示器，觸摸屏和平板顯示器
OLED和LED
智能玻璃
石墨烯層
光伏晶圓和電池
半導體晶片
金屬化層和晶圓金屬化
電池電極
導電涂布紙和導電紡織品
單點金屬膜厚測量儀EddyCus TF lab 2020MT
單點金屬膜厚測量儀EddyCus TF lab 2020MT可以對透明和非透明層的非接觸金屬厚度進行測量。測量是通過非接觸式渦流傳感器實現的。它可以實時地對已知或確切的常數電導率的材料的進行厚度測量。這種非接觸測試技術能夠在較寬的厚度范圍內進行精確測量，從幾納米厚度開始，一直到厚金屬板的表征。電渦流技術還能夠對被有害材料覆蓋的金屬層進行表征。單點金屬膜厚測量儀也可以為非常薄的膜層以及非常厚的金屬和普通合金提供特定的材料設置。該測量方法具有的魯棒性和高重復性和高精度。此外，它不需要任何光學透明度，也不用物理接觸。
軟件和設備控制：
非常用戶友好的軟件
直觀的觸摸顯示導航
實時測量板材電阻和層厚
軟件輔助手動映射選項
各種數據保存和導出選項
非接觸式金屬膜厚測量儀規格參數：
| Measurement technology | Non-contact eddy current sensor |
| Substrates | Foil, glass, wafer, etc. |
| Substrate area | 8 inch / 204 mm x 204 mm (open on three sides) |
| Max. sample thickness/ sensor gap | 3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample) |
| Metal thickness range Accuracies depend on the selected setup and the type / conductivity of the metal (e.g. copper, aluminum, silver) | Low 1 – 10 nm; 2 – 5 % accuracy Standard 10 – 1,000 nm; 1 – 3 % accuracy High 1 – 100 µm; 0.5 – 3 % accuracy |
| Metal thickness calibration | Direct thickness calibration / sheet resistance conversion |
| Device dimensions (w/h/d) | 11.4” x 5.5” x 17.5” / 290 mm x 140 mm x 445 mm |
| Weight | 10 kg |
| Further available features / other tool configurations | Sheet resistance measurement / conductivity / resistivity / electrical anisotropy / permeability (beta) |
非接觸式金屬膜厚成像測量儀EddyCus TF map 2530MT
非接觸式金屬膜厚成像測量儀EddyCus TF map 2530MT是一種非接觸式厚度成像系統。這款金屬膜厚成像設備利用非接觸式渦流傳感器來確定任何已知電導率或特征電導率剖面，如金屬或合金材料的厚度。這種非接觸式測試技術可以在較寬的厚度范圍內進行精確測量，厚度范圍從幾納米到毫米。此外，它還可以應用于非導電材料封裝的薄膜。該測量方法具有良好的魯棒性和較高的重復性和精度。它不受光學特性的影響，有利于各種生產非透明金屬薄膜的行業。這種緊湊的臺式系統用于制造研發和測試實驗室的快速測試或系統質量保證的廣泛應用。
軟件和設備控制：
非常用戶友好的軟件
實時映射測量
易于使用的統計分析選項
預定義的測量和產品配方(尺寸、音高、閾值)
直線掃描，直方圖和區域分析
黑色和彩色圖像編碼
Csv & PDF導出
PC匯總導出
用于參數轉換的材料數據庫
邊緣效應的補償
數據的存儲和導入
導出數據集(如eddyva, MS Excel, Origin)
非接觸式金屬膜厚測量儀規格參數：
| Measurement technology | Non-contact eddy current sensor |
| Substrates | Wafer, glass, foil, etc. |
| Max. scanning area | 12 inch / 300 mm x 300 mm (larger upon request) |
| Edge effect correction / exclusion | 2 – 10 mm (depending on size, range, setup and requirements) |
| Max. sample thickness / sensor gap | 3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample) |
| Metal thickness range Accuracies depend on the selected setup and the type / conductivity of the metal (e.g. copper, aluminum, silver) | Low 1 – 10 nm; 2 – 5 % accuracy Standard 10 – 1,000 nm; 1 – 3 % accuracy High 1 – 100 µm; 0.5 – 3 % accuracy |
| Metal thickness calibration | Direct thickness calibration / sheet resistance conversion |
| Sheet resistance range (optional) | 0.1 mOhm/sq – 100,000 Ohm/sq (in 5 ranges) |
| Scanning pitch (X and Y) | 1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 mm |
| Scanning time | 8 inch / 200 mm x 200 mm in 1.5 to 15 minutes (1 – 10 mm pitch) 12 inch / 300 mm x 300 mm in 2 to 15 minutes (2.5 – 25 mm pitch) |
| Device dimensions (w/h/d) / weight | 31.5” x 19.1” x 33.5” / 785 mm x 486 mm x 850 mm / 90 kg |
| Further available features / other tool configurations | Sheet resistance measurement / conductivity / resistivity / anisotropy / permeability (beta) |
手持式金屬膜厚測量儀EddyCus TF portable1010
手持式金屬膜厚測量儀EddyCus TF portable1010一種方便和便攜的測量設備，用于生產或現場的大型玻璃和金屬箔的快速接觸測量，例如在制造后的快速質量檢查或作為來料良好的檢查。手持設備允許測量甚至隱藏和封裝層。這是一個易于使用的設備，通過觸摸顯示器控制。
手工質量控制，進料檢驗，出料檢驗
導電材料的接觸表征
單點接觸測量(要求恒距離測量)
150 x 150毫米的平面表面(50 x 50毫米和100 x 100毫米可選)
| Measurement technology | Eddy current sensor |
| Measurement mode | Realtime at constant distance / contact |
| Substrates | Glass, plates, foils etc. |
| Substrate sizes | Flat samples > 150 mm x 150 mm (6 inch x 6 inch) Curved editions are available for several applications |
| Measurement spot / high sensitivity zone | 40 mm diameter (1.6 inch) |
| Power | Lithium ion battery up to 20 h |
| Metal thickness range (four setups available) very low: 0.001 – 0.1 Ohm/sq Type low: 0.04 – 0.1 Ohm/sq Type standard: 0.3 – 30 Ohm/sq Type high: 0.3 – 50 Ohm/sq | Range depends on material conductivity. Examples: CuAlAgTi0.17 – 17 µm0.27 – 27 µm0.16 – 15 µm5.5 – 550 µm170 – 425 nm270 – 675 nm155 – 380 nm5.5 – 13 nm0.6 – 56 nm0.9 – 90 nm0.5 – 50 nm0.018 – 1.85 µm0.4 – 56 nm0.6 – 90 nm0.3 – 50 nm0.013 – 1.85 µm
|
| Sheet resistance measurement | Available as additional feature, 5 ranges are available between 0.001 to 100 Ohm/sq |
| Accuracy (for planar solid surfaces, e.g. glass) | <> |
| Dlay | 2.8 inch colored touch screen |
| Device dimensions (w/h/d) @ weight | 3.5” x 7” x 1.9” / 87 mm x 178 mm x 48 mm @ 340g |
| Interfaces | Bluetooth (optional) + data center |
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