XBS 分子束外延沉積速率監測/控制系統(MBE Deposition Rate Monitoring/Control System)，適于精確的MBE分析，其他氣體分析和科學實驗使用。
XBS 分子束外延沉積速率監測/控制系統的高靈敏度和數據的快速采集，能夠提供生長速度低至0.01 ?/s的質譜信號。
·交叉離子源，束接收角同軸的橫斷面呈±35°
·離子源控制，用于軟離子化和表觀電勢質譜
·2mm束接受孔，以利特殊使用者操作
·一級過濾處增加射頻，抗污染物能力增強
·內置UHV兼容的水冷卻罩
·通過RS232、USB或Ethernet連接計算機，MASsoft軟件控制
·質量數范圍： 1～300 amu（標準配置）
500amu（選配）
·掃描速度： 100amu/s
·最小掃描步階： 0.01amu
·檢測濃度： 5ppb～99%
·穩定性： 24h以上，峰高變化小于±0.5%
·監測極限： 30 ions/s
·監測生長速率： 1? / min，或更低
XBS Monitor for the Molecular Beam Epitaxy Process (390 KB)
Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)
