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廣電計量檢測集團股份有限公司

半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套

參考價 1000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱四川迪美斯環(huán)保科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號VC-DJR-150
  • 所  在  地長沙市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2024/6/5 11:40:06
  • 訪問次數(shù)247
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        四川迪美斯環(huán)保科技有限公司專注于新型環(huán)保隔熱保溫系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、施工、服務(wù)的科技企業(yè)。公司擁有專業(yè)的研發(fā)團隊、生產(chǎn)技術(shù)、實行全面的質(zhì)量跟蹤保障體系、通過ISO9001質(zhì)量認(rèn)證體系。

        公司主要產(chǎn)品有:可拆卸式保溫套、電加熱保溫套、排氣管隔熱罩、柔性防火罩、汽輪機可拆卸式保溫系統(tǒng)、耐高溫套管、納米氣凝膠、陶瓷纖維等系列產(chǎn)品。公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于石化、橡膠輪胎、核電船舶、工程機械、鋼鐵、制藥、食品飲料等行業(yè)。我們根據(jù)客戶需求,量身定做新型可拆卸式保溫節(jié)能品,為企業(yè)提供一站式節(jié)能保溫服務(wù)

        四川迪美斯環(huán)保科技有限公司堅持以“質(zhì)量求生存、以信譽求發(fā)展、服務(wù)至上”為宗旨。堅持技術(shù)創(chuàng)新、致力于推廣節(jié)能減排產(chǎn)品、服務(wù)于節(jié)能環(huán)保領(lǐng)域。愿我們攜手、共同努力為美好的藍天貢獻一份力。

 

閥門保溫套,排氣管隔熱套,換熱器保溫衣,可拆卸保溫套
材質(zhì) 鎳鉻 導(dǎo)熱系數(shù)(常溫) 0.03
等級 A 低溫彎折≤ 90
斷裂伸長率 800N/cm 加工定制
抗彎強度 優(yōu) 適用領(lǐng)域 半導(dǎo)體、電子
半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套:DIFF、ETCH、CVD、EPI部門,Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。
半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套 產(chǎn)品信息

 

半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套的前因:

由于半導(dǎo)體生產(chǎn)常常需要使用各種化學(xué)氣體,這些氣體也會隨著工藝的過程,由真空泵從反應(yīng)腔體抽出,形成各種有毒有害的工藝尾氣,這些氣體如直接排到大氣中就會形成大氣污染。所以半導(dǎo)體生產(chǎn)廠家都需要對工藝設(shè)備尾氣進行有效的處理,以減少對環(huán)境的污染。因此,在半導(dǎo)體制造機臺中,尾氣處理裝置是半導(dǎo)體加工中的BB工具。在等離子體干法刻蝕過程中,氣體供給口提供的氣體主要由Cl2CF4SF6O2HeBCl3等,經(jīng)過在真空反應(yīng)室內(nèi)的一系列反應(yīng)后,氣體排出口排出的尾氣主要包括TiClxAlClxMoClxMoFxSiO2。由于上述尾氣極易在室溫下結(jié)晶,因此尾氣處理過程中結(jié)晶體會附著在排氣管的管壁上,極易對排氣管進行堵塞,同時造成排氣管的損傷。此過程會造成尾氣處理不CD,同時提高生產(chǎn)成本。

需要加熱馬甲的部門:

DIFFETCHCVDEPI部門,Pumping linePump exhaust管路需加裝加熱夾套。

加熱馬甲作用:

通過升高管路工作溫度,減少管內(nèi)介質(zhì)結(jié)晶,避免管路堵塞,減少PM周期,提高產(chǎn)能。

加熱馬甲溫度要求:

PVD150°、170°(也有180°)

ETCH80°-120°

半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套

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