P-313 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀
皮米級精度,高帶寬,用于掃描探針顯微鏡
P-313 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀
§ 用于AFM / SPM的高線性掃描儀
§ 分辨率高達20皮米,滯后小于1 納米
§ 閉環驅動概念帶來gao帶寬
§ 用于生物技術/納米技術的gao精度操 縱工具
§ 諧振頻率為4.0千赫茲(X、Y)、11 千 赫茲 (Z)
§ 行程1微米×1微米×0.6微米
應用領域
§ 掃描探針顯微鏡
§ 原子力顯微鏡
§ 掃描和篩選
零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度
柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力,且它們對chong擊和振動不敏感。 它們*真空兼容,可在很廣的溫度范圍內工作。
并聯運動實現高動態多軸操作
在并聯多軸系統中,所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有小的質量慣性和相同的設計,可實現快速、動 態和精密的運動。
規格 P-313PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀 單位
運動和定位
主動軸 X、Y、Z
X、Y向上的行程(±250伏) 1 微米
Z向上的行程(±250伏) 0.6 微米
X、Y向上的分辨率 0.02 納米
Z向上的分辨率 0.14 納米
機械特性
X、Y向上的諧振頻率 4 千赫茲
Z向上的諧振頻率 11 千赫茲
運動方向上的推/拉力 ±10 牛
負載容量 ±10 牛
其他 工作溫度范圍 5 到 40 °C
質量 80 克
電纜長度 1.5 米
電壓連接 Sub-D 24W7(公頭)
*電控 E-536
訂購信息
P-313.30L 高線性 PicoCube XYZ向納米定位器和掃描器,1微米 × 1微米 × 0.6微米,開環,LEMO連接器
P-313.30D 高線性 PicoCube XYZ向納米定位器和掃描器,1微米 × 1微米 × 0.6微米,開環,Sub-D連接器