量程0-0.5sccm和0-4000slpm,100:1的量程比，內置130種氣體，10ms快速響應時間，優于1%的精度
產品特點
美國ALICAT 耐腐蝕抗腐蝕型質量流量計，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量計均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的耐腐蝕數字式質量流量計可精確、快速測量腐蝕性氣體(如：NH3、H2S、SiH4等)的質量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。
● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 可選高精度：優于0.5%
● 高量程比 100:1
● 響應時間快 僅需10ms ● 內置130種常規以及腐蝕性氣體
● 可現場標定混合氣體，并存儲20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
基本參數
| 產品性能 | 耐腐蝕質量流量控制器 |
| 流量范圍 | 0.5sccm-5000slpm |
| 精度(調零后標準條件下) | ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S) |
| 高精度選配(調零后標準條件下) | ± (0.4%Rdg + 0.2%F.S) 高精度(選配)僅適用于量程為 5SCCM ~ 500SLPM 的設備 |
| 標定氣體 | 內置90條氣體可選擇 |
| 重復性 | ± 0.2% F.S |
| 零點漂移&滿量程漂移 | 0.02% F.S / ºC / Atm |
| 工作壓力 | 10bar |
| 可控流量 | 102.4% F.S |
| 典型響應時間 | 100 毫秒(可調整) |
| 啟動預熱時間 | < 1 秒 |
| 工作溫度 | −10 ~ +50 ºC |
| 工作濕度范圍 (非冷凝) | 0 ～ 99% |
| 內部工作壓力(靜壓) | 145 psig |
| 極限壓力 | 175 psig |
| 對安裝方式/方向的要求 | 任意 |
| 閥門狀態 | 閥門常閉 |
| 通訊 / 電源 | 耐腐蝕質量流量控制器 |
| 單色/彩色 LCD 顯示屏 | 同時顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
| 數字信號 | 標準RS-232 選配RS-485,MODBUS-RTU,PROFIBUS,DeviceNet以太網RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
| 模擬信號 | 標準0-5V 1-5V-0-10V 選配4-20mA |
| 電信號接口 | 標準圓形8針 選配圓形6芯 DB9針 DB15針 |
| 供電電壓 | +24VDC |
| 消耗電流 | 20SLM以為 250mA 50SLM以為750mA 5000SLPM消耗2000mA電流 |
| 流量 | 壓損(spig)排放大氣中 | 接口 |
| 0.5-50SCCM | 1.0 | 1/8NPT母螺紋 |
| 100-500SCCM | 1.0 | |
| 1SLM | 1.5 | |
| 2SLM | 3.0 | |
| 5SLM | 2.0 | |
| 10SLM | 5.5 | |
| 20SLM | 20.0 | |
| 50SLM | 2.0 | 1/4NPT母螺紋 |
| 100SLM | 3.2 | |
| 250SLM | 2.4 | 1/2NPT母螺紋 |
| 500SLM | 6.5 | 3/4NPT母螺紋 |
| 1000SLM | 14.0 | |
| 1500SLM | 17.0 | |
| 2000SLM | 28.6 | |
| 3000SLM | 16.8 | 1-1/4NPT母螺紋 |
| 5000SLM | 14.1 | 2NPT母螺紋 |
