30A氣體質量流量控制器采用毛細鋼管傳熱和溫差量熱原理測量氣體的質量流量，其中質量流量控制器可以對氣體的質量流量進行精確的控制，由于溫差量熱只和氣體的質量流量相關，所以氣體的溫度和壓力變化不會影響到測量值。
本型號產品滿量程可以再5sccm-30SLM的范圍內任意定制。
特點
穩定性和可靠性高 ±0.2%F.S的高重復精度 可應用大多數腐蝕性氣體
同類產品尺寸最小 安裝尺寸國際兼容 不受溫度及壓力變化影響
滿量程可在5sccm-30SLM范圍任意定制
標定標準
標定氣體：氮氣（N2）
標定溫度：溫度273.15K（0 ºC） 標定壓力：101325pa(760mm Hg)
輸入輸出信號
0~5.00V（輸入阻抗大于100KΩ）輸出電流不大于3mA
流量規格
0~5，10，20，50，100，200，300，500，1000 sccm
0~1, 2 ,3 ,5 ,10, 20, 30 SLM
注：滿量程流量不限于此處列出的規格，可再滿量程5sccm-30SLM范圍內任意選擇,列如:123sccm
質保與服務
我公司承諾對產品的質保期為壹年，再您收到產品壹年內，如果按照說明書要求使用，遵守安全注意事項，并且產品沒有損壞，改裝或翻新，若有任何故障和問題，我公司負責免費維修或更換產品部件。
再質保期外，我們提供終生維修和維護服務，但適當收取維修和維護的成本費，維修和維護后，維修部分的部件同樣質保壹年。
我公司有專業的售后工程師可以幫助您解決關于安裝和使用等各方面的問題，并提供產品的使用培訓。
規格參數
| 功能 | 質量流量計，質量流量控制器 |
| 流量規格（N2）標定 | 0~5，10，20，50，100，200，300，500，1000 sccm |
| 流量規格（N2）標定 | 0~1, 2 ,3 ,5 ,10, 20, 30 SLM |
| 精度 | ±1%F.S |
| 調節閥類型 | 常閉式 |
| 線性 | ±1%F.S |
| 重復精度 | ±0.2%F.S |
| 響應時間 | ≤2ses |
| 輸入輸出信號 | 0~5.00V（輸入阻抗大于100KΩ）輸出電流不大于3mA |
| 電纜接頭 | DB15pin(針型) |
| 工作環境溫度 | 5~45℃ |
| 工作壓差范圍 | 0.1-0.5Mpa |
| 對外單點泄漏率 | ≤1X10-8pa.m3/s(He) |
| 耐壓 | 3Mpa |
| 介質接觸材質 | 316,316L,密封填料 |
| 介質接觸材質 | 氟橡膠,硅橡膠,丁晴橡膠,聚四氟乙烯,金屬密封 |
| 密封材料 | 丁晴橡膠NBR,三元乙丙橡膠EPDM,氯丁橡膠CR,硅橡膠VMQ,氟橡膠FKM |
| 管道接頭尺寸 | VCR型接頭 1/4 |
| 管道接頭尺寸(公制) | Φ3 Φ6 Φ8 Φ10 Φ12 |
| 管道接頭尺寸(英制) | 1/8 ,1/4 ,1/2 |
| 供電電源要求 | +15VDC(50mA) -15VDC(200mA) |
| 工作環境濕度 | ＜80RH |
| 重量 | 0.9KG |
| 尺寸 | 127X28X100mm |
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