| | | 熱式質(zhì)量流量計 | 產(chǎn)品介紹: | | 熱式質(zhì)量流量計 大連索尼卡公司一直致力于流量測量的研究,本款熱式氣體質(zhì)量流量計用于精確的測量氣體的流量,具有不因溫度或壓力的波動而失準、重復性好、自動測量、工作壓力范圍寬,可以在真空或高壓氣路中工作,大流量分流器不易堵塞等特點。 ? ? 質(zhì)量流量計(FFM)/質(zhì)量流量控制器(FFC)用于精密地測量或控制氣體的質(zhì)量流量, 熱式氣體質(zhì)量流量計的流量傳感器是熱式質(zhì)量流量傳感器。 熱式氣體質(zhì)量流量計由傳感器、分流器、主通道及電路板等部分組成,用于測量流量;MFC除了具有與MFM類似的各部件之外,還有一個控制閥門及PID控制電路,它不但能測量流量,還能控制流量。 ? ? 熱式氣體質(zhì)量流量計的氣體通道的材料為316L不銹鋼,密封材料可選橡膠或金屬材料等。 熱式氣體質(zhì)量流量計原則上可以使用任何氣體,包括腐蝕性氣體,不過要注意恰當選擇產(chǎn)品型號和密封材料。 模擬流量計產(chǎn)品的流量輸入輸出信號是0~+5V電壓信號,個別產(chǎn)品是4~20mA電流信號,對應于流量的0~滿量程。數(shù)字模擬兼容的流量計產(chǎn)品的流量輸入輸出信號,除了有0~+5V模擬信號外,還具有RS232 / RS485計算機串行通訊信號。全數(shù)字化流量計產(chǎn)品通常采用現(xiàn)場總線通訊方式。 ? ? 熱式氣體質(zhì)量流量計測得的質(zhì)量流量等同于標準狀態(tài)下的體積流量,其質(zhì)量流量單位表示為SCCM (每分鐘標準毫升) 或SLM (每分鐘標準升)。標準狀態(tài)指壓力為一個大氣壓(101325Pa)、溫度為0℃。 產(chǎn)品出廠時一般用氮氣標定。用戶使用其它氣體時,可以用說明書中提供的氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)進行讀數(shù)修正,或提出根據(jù)使用氣體進行轉(zhuǎn)換標定,如果可行的話,也可以要求我公司以實際使用的氣體進行標定。 SONIC系列流量顯示儀可以和質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器配合使用,由前者提供工作電源和進行流量顯示。 ? ?? ?? 【性能特點】 ●量程:5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10……2000SLM ●準確度:±1%F.S ●線性度:±0.5~1% F.S ●重復精度:±0.2% F.S ●響應時間:10S ●氣壓降: <0.01MP ●壓力:10MP ●工作環(huán)境溫度: 5~45℃ ●輸出信號:0~+5.00V ●電源:+15V 50mA -15V 200mA? ●外形尺寸:158.7*60*198,161.7*60*198可選 ●重量:2.5 Kg ●防爆等級:Exd II BT6 >> >>
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