SDW-11C全自動(dòng)晶圓專用接觸角測(cè)量?jī)x產(chǎn)品介紹：
SDW-11C全自動(dòng)晶圓專用接觸角測(cè)量?jī)x專為晶圓深度定制的一臺(tái)全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x，廣泛用于晶圓的潤(rùn)濕性能分析與研究，是一臺(tái)快速測(cè)量晶圓多點(diǎn)位潤(rùn)濕性分析測(cè)量的設(shè)備。專為晶圓深度定制的一臺(tái)全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x，廣泛用于晶圓的潤(rùn)濕性能分析與研究，是一臺(tái)快速測(cè)量晶圓多點(diǎn)位潤(rùn)濕性分析測(cè)量的設(shè)備。
技術(shù)參數(shù)：
整體參數(shù) | 型號(hào) | SDW-11C |
名稱 | 全自動(dòng)晶圓專用接觸角測(cè)量?jī)x | |
類型 | 晶圓型 | |
機(jī)身材質(zhì) | 航空鋁 | |
輸入電源 | 220V 50-60Hz | |
功率 | 10W | |
儀器尺寸 | 約890mm（W）*400mm(L)* 580mm(H) | |
儀器重量 | 約30KG | |
樣品平臺(tái)系統(tǒng) | 平臺(tái)尺寸 | 直徑320mm |
前后Y移動(dòng) | 自動(dòng)：行程160mm,精度0.1mm | |
上下Z移動(dòng) | 手動(dòng)：行程30mm,精度0.1mm | |
水平調(diào)整 | 整機(jī)水平調(diào)整，攝像頭水平調(diào)整（配送專業(yè)級(jí)XY水平儀） | |
可放置樣品 | 6-12寸 | |
樣品臺(tái)材質(zhì) | 鋁合金帶四向?qū)χ屑夹g(shù) | |
注射系統(tǒng) | 注液移動(dòng)行程 | Y行程：40mm Z行程（自動(dòng)）：35mm，精度0.1mm（針頭對(duì)中及液滴自動(dòng)轉(zhuǎn)移） |
滴樣控制移動(dòng) | 行程：60mm,精度：0.01mm | |
滴樣方式 | 自動(dòng) | |
滴液精度 | 0.01ul | |
加液方式 | 自動(dòng)（配送5ml玻璃燒杯加液） | |
微量進(jìn)樣器 | 容量：500ul（全自動(dòng)液位實(shí)時(shí)檢測(cè)） | |
針頭 | 標(biāo)配0.5mm不銹鋼針頭（可替換）20個(gè)、超疏水針頭0.25mm（可替換）20個(gè) | |
采集系統(tǒng) | 相機(jī) | 日本SONY高速工業(yè)級(jí)芯片(Onsemi行曝光) |
鏡頭 | 0.7x-4.5x | |
傳感器類型 | 1/1.8 英寸逐行掃描CMOS | |
分辨率 | 1280×1024 | |
焦距 | ±2.5mm可調(diào) | |
圖像拍攝方法 | 單張、間隔、連續(xù) | |
拍攝間隔時(shí)間 | 500-3600000ms | |
視頻錄制方式 | 錄像、回播、合成 | |
清晰度測(cè)量 | 全自動(dòng)軟件對(duì)焦 | |
拍攝速度 | 80幀/s | |
光源系統(tǒng) | 光源 | 美國(guó)進(jìn)口工業(yè)級(jí)白色冷光源（有效避免因光源散發(fā)熱量蒸發(fā)液滴） |
組合方式 | 采用日本進(jìn)口石英擴(kuò)散膜使得亮度更均勻，液滴輪廓更清晰 | |
使用壽命 | 5萬(wàn)小時(shí)以上 | |
亮度調(diào)節(jié) | PWM無(wú)極調(diào)節(jié)+軟件調(diào)節(jié) | |
亮度識(shí)別 | 算法自動(dòng)識(shí)別亮度保證亮度 | |
光源波長(zhǎng) | 400～760nm | |
功率 | 1W | |
接觸角測(cè)量 | 接觸角測(cè)量方法 | 懸滴法、座滴法等 |
測(cè)量軟件 | CA V2.0靜/動(dòng)態(tài)接觸角測(cè)量軟件+表面能測(cè)量軟件 | |
軟件操作系統(tǒng)要求 | windows 10(64位) | |
接觸角測(cè)量方式 | 自動(dòng)與手動(dòng) | |
接觸角計(jì)算方法（static contact angle） | 自動(dòng)擬合法（ms級(jí)別一鍵全自動(dòng)擬合，不存在人工誤差）、三點(diǎn)擬合、五點(diǎn)擬合、自動(dòng)測(cè)量（包括圓擬合法/斜圓擬合法（Circle method/ Oblique Circle）、橢圓擬合法/斜橢圓擬合法(Ellipse method /Oblique Ellipse)、B-Snake擬合法、凹凸面測(cè)量等 | |
動(dòng)態(tài)接觸角測(cè)量 （Dynamic contact angle） | 前進(jìn)角（Advancing angle），后退角（receding angle），滯后角（hysteresis angle） (可批量擬合多張圖片或視頻連續(xù)擬合計(jì)算Video analysis) | |
基線擬合 | 自動(dòng)與手動(dòng) | |
角度范圍 | 0°＜θ＜180° | |
精度 | 0.1° | |
分辨率 | 0.001° | |
表面能 | 表面能測(cè)量方法 | Fowks法，OWRK法，Zisman法，EOS法，Acid-Base Theory法,Wu harmonic mean法,Extended Fowkes法（軟件中預(yù)裝37種液體數(shù)據(jù)庫(kù)，可自行建立液體性能參數(shù)）數(shù)據(jù)可直接調(diào)入用于表面能估算，液體庫(kù)數(shù)據(jù)可自行添加、刪除和修改。可分別得到固體表面能、色散力、極性力、氫鍵力、范德華分量、路易斯酸分量、路易斯堿分量等 |
表面能單位 | mJ/m² | |
表界面張力 | 測(cè)量方法 | 自動(dòng)擬合+手動(dòng)擬合 |
精度 | 0.01 mN/m | |
測(cè)量范圍 | 0.1mN/m-2000mN/m | |
潤(rùn)濕性分析 | 粘附功 | 一鍵自動(dòng)分析 |
鋪展系數(shù) | 一鍵自動(dòng)分析 | |
粘附張力 | 一鍵自動(dòng)分析 | |
精度 | 0.001 mN/m | |
單位 | mN/m |
設(shè)備清單：
1.usb2.0數(shù)字CCD攝像頭 1個(gè) | 2.連續(xù)變倍光學(xué)系統(tǒng) 1個(gè) |
3.手動(dòng)加樣系統(tǒng) 1套 | 4.手動(dòng)CCD傾斜系統(tǒng) 1套 |
5.表界面分析測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用軟件 1套 | 6.說(shuō)明書(shū)紙質(zhì)一份及說(shuō)明書(shū)電子版 1份 |
7.保修卡及合格證1份 | 8.親水進(jìn)樣針20個(gè)，疏水進(jìn)樣針20個(gè) |
9.500ul進(jìn)樣器1個(gè) | 10.電源線及數(shù)據(jù)線1條 |
11.XY專用水平儀1個(gè) | 11.晶圓自動(dòng)旋轉(zhuǎn)系統(tǒng) 1套 |
