突出特點

Triglav™- 新型超高分辨率(UHR) 電子光學鏡筒

• TriLens™ 物鏡系統：*的電子束無交叉模式與三物鏡相結合；
• 具有多個 SE 及 BSE 探測器的探測系統；
  • TriSE™+TriBE™
• Triglav™ - 低加速電壓下的超高分辨率: 1 nm ( 1 keV ), 0.7 nm ( 15 keV )；
• 全新的 EquiPower™技術進一步提高電子束的穩定性；
• 電子束流高達 400 nA，并能實現電子束能量的快速改變；
• 優化的鏡筒幾何設計大可容納8”晶圓
• 實時電子束追蹤技術（In-Flight Beam Tracing™)可對電子束實時優化；
• 擴展的低真空模式，樣品室氣壓能達到 500 Pa，實現不導電樣品的觀測；

• *的 TriBE™具有三個 BSE 探測器，可以選擇不同立體角的信號進行采集。位于鏡筒內部的 Mid-Angle BSE 和 In-Beam LE-BSE 探測器，分別用于檢測中角及軸向的高角背散射電子，而樣品室的 BSE 探測器用于探測低角背散射電子。三個探測器可以提供不同襯度的圖像，并且能探測到低于 200 eV 的低能背散射信號；
• *的 TriSE™具有三個 SE 探測器，所有工作模式下二次電子信號的采集都進行了優化。位于鏡筒內部的 In-Beam SE 探測器能在短工作距離下采集二次電子，SE ( BDM ) 探測器用于電子束減速模式下的超高分辨成像。In-Chamber SE 探測器能提供形貌襯度和立體感；
• 電子束減速技術（BDT）可在低至 50 eV 的低電子束能量下實現出色的分辨率（選配）。

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