Agilent安捷倫SAES GETTERS NEG法蘭是標(biāo)準(zhǔn)的CF型法蘭,可以完成CombiNEG 吸氣劑復(fù)合型離子泵的封裝,以正確的方式將吸氣劑泵整合到離子泵內(nèi)。可使用特殊接頭將 NEG連接到控制裝置,特殊接頭可耐受高達(dá)400 °C的烘烤。
每件NEG法蘭均經(jīng)過(guò)專門設(shè)計(jì),可與相應(yīng)的吸氣劑泵適配,且所有NEG法蘭均已通過(guò)1.5 x 10–10 scm3/s條件下的泄漏測(cè)試。法蘭的設(shè)計(jì)可確保整個(gè)泵組件簡(jiǎn)單、緊湊,具有體積小巧、可靠性高的優(yōu)勢(shì)。
產(chǎn)品選型
X3605-68020 | CF 35 基座法蘭 | 帶連接器,用于 D400-2 吸氣劑泵 |
X3605-68022 | CF 100 基座法蘭 | 帶連接器,用于 D-1000 吸氣劑泵 |
X3605-68023 | CF 100 基座法蘭和連接器 | 帶加熱器,用于 D-2000 吸氣劑泵 |