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多靶位立式磁控濺射鍍膜機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京中科科美科技股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/12/21 12:06:08
  • 訪問次數153
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北京中科科美科技股份有限公司是直屬企業北京中科科儀股份有限公司的控股子公司,是專門從事真空系統集成產品設計、制造、銷售和服務的國家,為客戶提供真空系統整體解決方案和一站式服務,包括真空集成系統的總體設計、工程實施、設備安裝、技術服務等。公司主營業務分為空間環境模擬裝置、充氣回收檢漏系統、新能源真空應用系統和大科學工程真空配套四大類別。公司的客戶行業涉及航空航天、新能源(太陽能和核能)、新興裝備制造、科研院所、大科學工程、工業鍍膜、汽車制造、電子、低溫、超導、電氣檢測等多個領域。公司擁有*的裝備制造實力,通過了ISO質量管理體系和中核供應商體系認證,擁有3項發明及三十余項實用新型,曾參與:神光Ⅲ、北京高能同步輻射光源、特高壓蘇通GIL綜合管廊工程、江門中微子探測等國家大科學工程項目的實施,在真空領域具有國內的技術實力。中科科美致力于發展成為國內、具有國際競爭力的真空系統集成整體解決方案供應商,實現與客戶的共同成長!
該設備可沉積單金屬、合金、及多種介質膜,多層膜;主要用于Φ150-Φ500輪轂型金屬、非金屬零件表面沉積各類功能膜(耐磨、防腐、導電膜、絕緣膜等)的研發和小批生產。
多靶位立式磁控濺射鍍膜機 產品信息

  一、應用領域:

  該設備可沉積單金屬、合金、及多種介質膜,多層膜;主要用于Φ150-Φ500輪轂型金屬、非金屬零件表面沉積各類功能膜(耐磨、防腐、導電膜、絕緣膜等)的研發和小批生產。

  二、性能參數

  1. Φ1000x700水冷真空腔體,側開門,樣品架公自轉;

  2. 頂部和側面布置有濺射靶位8個;

  3. 6″直流靶6只,每只各配3KW直流電源1套;

  4. 6″射頻靶2只,各配1.5KW射頻電源1套;

  5. 系統配考夫曼離子源用于工件清洗;

  6. 腔室可加熱,加熱溫度300℃。

  7. 極限真空:5x10-4Pa。

15700106413
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