產品簡介
隨著快速數據采集和數據處理技術的發展，電子顯微鏡進入了一個不僅重視數據質量，而且重視其采集過程的時代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、大束流分析及長時間穩定運行的冷場成像技術，同時還大大提升了高通量、自動數據獲取能力。
超高分辨成像：日立的高亮度電子源可保證了即使在超低著陸電壓下，也可獲得超高分辨的圖像。
的自動化功能：EM Flow Creator 允許客戶創建連續圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設置放大倍率、移動樣品位置、調節焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經過調試和確認后，該程序便可以在每次調用時自動獲得高質量、重現性好的圖像數據。
靈活的用戶界面：原生支持雙顯示器，提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存，實現快速的多信號觀測與采集。1,2,4 或6通道信號可在同一個顯示器上同時顯示，可切換內容包括SEM各探測器以及樣品室相機和導航相機。可以通過使用兩個顯示器來擴展工作空間，可定制的用戶界面以提高工作效率。
產品參數
| 機型 | SU8600 系 | |
| 電子光學系統 | 二次電子像分辨率 | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| 放大倍率 | 20 to 2,000,000 x | |
| 電子槍 | 冷場發射電子源，支持柔性閃爍功能，包含陽極烘烤系統。 | |
| 加速電壓 | 0.5 to 30 kV | |
| 著陸電壓 * | 0.01 to 20 kV | |
| 探測器 | （部分為選配項） | 上探測器(UD) |
| UD ExB能量過濾器，包含SE/BSE信號混合功能 | ||
| 下探測器(LD) | ||
| 頂探測器(TD) | ||
| TD能量過濾器 | ||
| 鏡筒內背散射電子探測器(IMD) | ||
| 半導體式背散射電子探測器 (PD-BSED) | ||
| 新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD) | ||
| 陰極熒光探測器(CLD) | ||
| 掃描透射探測器(STEM Detector) | ||
| 附件 | （部分為選配項） | 導航相機、樣品室相機、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD) |
| 軟件 | （部分為選配項） | EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720 像素） |
| 樣品臺 | 馬達驅動軸 | 5軸馬達驅動（X/Y/R/Z/T） |
| 馬達驅動軸 | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| 樣品室 | 樣品尺寸 | 直徑：150 mm |
