皮米精度激光干涉儀IDS 3010(NEW)
德國attocube公司在皮米精度位移激光干涉儀FPS的基礎上，于近推出了體積更小、適合集成到工業產品與同步輻射應用中的IDS型號皮米精度位移激光干涉儀。與FPS型號干涉儀相似，IDS型號同樣適用于環境如高真空與高輻射環境并且具有*精度與*采樣速率。IDS產品是適合工業集成與工業網絡無縫連接的理想產品。產品在工業應用中具有廣泛范圍前景，包括閉環位移反饋系統搭建、振動測量、軸承誤差測量等。
| + 設計緊湊（50mm x 55mm x 195mm），適合工業集成 + 工業化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面 + 測量速度快，定位樣品采樣帶寬10MHz + 環境補償單元，不同濕度、壓力環境中校正反射率參數提高測量精度 + 校正簡單，配備可見激光（650nm）用于校正測量激光（1530nm） + 測量精度高，探測器分辨率高達1 pm |
IDS 3010激光探頭技術參數表
IDS系列激光干涉儀可提供不同型號探頭（探頭尺寸，光斑大小不同）。
探頭直徑范圍：1.2mm – 22mm。典型準直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。
低工作溫度：10mK, 1E-10mBar超高真空適用, 10MGy強輻射環境適用。
激光探頭 | |||||
型號 | 尺寸mm (直徑與長) | 工作距離 (低反射， 高反射材料） | 激光類型 （聚焦、準直） | 光斑 大小
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| D1.2/F7
| φ 1.2; 7.5 | 5-9 mm， 30-45 mm | 聚焦， 焦距7mm | 70mm@7mm |
| D4/F8
| φ 4; 11.5 | 6-10 mm， 15-30 mm | 聚焦， 焦距8mm | 70mm@8mm |
| D4/F13
| φ 4; 11.5 | 11-15 mm， 30-45 mm | 聚焦， 焦距13mm | 70mm@13mm |
| D12/F2.8
| φ 12; 32.3 | 2.8 mm | 聚焦， 焦距2.8mm | 2mm@ 2.8mm |
| M12/C1.6
| φ 14; 17.4 | 0-1000 mm | 準直 | 1.6mm |
| M15.5/C1.6
| φ 22; 20.6 | 0-1000 mm | 準直 | 1.6mm |
| M12/C7.6
| φ 14; 49.3 | 0-5000 mm | 準直 | 7.6mm |
IDS 3010主機尺寸與接口
實驗數據，皮米精度的穩定性 |
測量速度快，定位樣品采樣帶寬10MHz
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上圖，77mm長的腔在20個小時內的實驗測量數據表明數據誤差范圍在55 pm！ | 上圖，樣品移動速度2米/秒，移動范圍1m。 |
皮米精度激光干涉儀IDS 3010應用案例
1. 激光干涉儀檢測納米精度位移臺
2. 激光干涉儀組建高精度X射線顯微鏡
3. 激光干涉儀無損探測軸承誤差
4. 激光干涉儀校正極低溫非線性掃描
國內外用戶名單(排名不分先后)
attocube公司產品以其穩定的性能、*的精度和良好的用戶體驗得到了國內外眾多科學家的認可和肯定，在范圍內有超過了4000多位用戶。attocube公司的產品在國內也得到了低溫、超導、真空等研究領域*科學家和研究組的歡迎......
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中科院武漢數學物理所 | 上海同步輻射中心 |
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