ULVAC VPC-1100真空蒸發鍍膜機

此款設備在管架上緊密安裝了油擴散泵、油旋片真空泵、皮拉尼真空計、真空管、電力系統、壓力測量口等必要機器，并且配備了鐘罩升降裝置，是電阻加熱式高速型真空蒸發裝置。使用與保養檢修很簡單，用于2-8英寸基板尺寸的基礎研究開發實驗等工作。

產品特點

 ● 玻璃鐘罩,內部易于查看,并且可操作性好。

 ● 可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。

 ● 通過增加蒸發電源和電極,可以進行同時鍍膜及多層膜。

 ● 如變改EB式樣,可進行高熔點材料的鍍膜。

 ● 帶腳輪,易于移動。 

 ● 使用調節器,可以確保設置的安全性。

 ● 極限真空度：4.0×10^-4 Pa

 ● 基板尺寸50-200mm

 ● 真空腔體采用玻璃鐘罩 (直徑390mm ×350mm(H))

 ● 三點式電極結構

 ● 主泵采用油擴散泵(水冷) 1100 L/sec

 ● 外觀尺寸：1235(W) × 836(L) × 2155(H) mm