科研真空探針臺電信號測試科
真空探針臺:
可應用于高低溫真空環境下被測樣品的電學性能測試分析,以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。如:半導體/微電子,電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學研究領域。
科研真空探針臺電信號測試
主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺,臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針,特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。
科研真空探針臺電信號測試
該腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達<5Pa分子泵可達<-3Pa。真空信號連接處使用級別真空電極信號接頭,保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面,探針處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處,外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。