益處

• 測量范圍廣，從 1 x 10^-9 至 1 x 10^-2 毫巴（7.5 x 10^-10 至 7.5 x 10^-3 托）
• 全金屬冷陰極傳感器（潘寧），帶陶瓷饋入裝置
• 創(chuàng)新的電極幾何形狀提供優(yōu)良的點火屬性
• 等離子點火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險，即使在有氬氣的濺射運行中
• 陽極環(huán)和鈦陰極可輕松進行清潔或更換
• 極小化真空計附近的磁場強度
• 用于電源接通和等離子體點火的 LED 指示器
• 對數(shù)模擬輸出信號
• 現(xiàn)場總線接口（Profibus DP、DeviceNet）允許使用網(wǎng)絡(luò)通信將真空計輕松集成到真空系統(tǒng)中

典型應(yīng)用

• 高真空壓力監(jiān)控
• 蒸發(fā)濺射系統(tǒng)
• 高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
  
  
  

  規(guī)格

  類型			PEG100
  測量范圍		1 x 10-9 to 1 x 10-2
  精度
  10-8 至 10-4 毫巴	% of reading	±30
  壓力，更大（**）	bar	10
  溫度
  運行（環(huán)境）	°C	+10 to +50
  貯存	°C	-20 to +75
  無電子設(shè)備，烘烤	°C	350
  帶電子元件，在法蘭處烘烤	°C	70
  供應(yīng)
  電壓	V (dc)	14.5 to 36
  消耗，更大	W	<2
  輸出信號模擬
  輸出信號	V	0 to 10.6
  測量范圍	V	0.66 to 10
  電壓與壓強之間的關(guān)系	volts per decade	1.333
  連接器		FCC 68, female, 8 pin (shielded)
  電纜長度，更大（模擬）	m (ft.)	100 (330)
  暴露于真空的材料		Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
  內(nèi)部容積	cm3 (in.3)	21 (1.28)
  重量，接近	g	500
  保護類型		IP40
  DeviceNet™
  設(shè)備類型		generic
  顯示對等網(wǎng)絡(luò)傳訊		no
  I / O 對等傳訊		no
  配置一致性值		no
  默認節(jié)點恢復(fù)		no
  波特率	kBaud	125 / 250 / 500
  主板 / 掃描器		no
  I / O 從屬傳訊： 位觸發(fā)		yes
  I / O 從屬傳訊： 輪詢		yes
  I / O 從屬傳訊： 周期		yes
  I / O 從屬傳訊： 狀態(tài)改變 (COS)		yes
  DeviceNet™ 電源	V (dc)	11 to 25
  DeviceNet™ 連接器		Phoenix Combicon, 5 pin
  Profibus DP
  支持的波特率（自動檢測）	kBaud	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500
  擴展的用戶參數(shù)數(shù)據(jù)	byte	5
  配置： 輸入輸出數(shù)據(jù)數(shù)量		2
  同步模式和凍結(jié)模式		Yes
  Profibus 的連接器		D-sub, 9 pin