益處
- 復合真空計 – 倒置磁控管與皮拉尼
- 測量范圍廣，從 5 x 10-9 毫巴到大氣壓
- 不會出現單絲燒毀的現象
- 的點火屬性
- 易于清潔
- FPM 或金屬密封饋入裝置
- 高壓 LED 指示燈
- 對數模擬輸出信號
典型應用
- 高真空壓力監控
- 蒸發系統和濺射系統的基本壓力
- 中高真空范圍內的一般真空測量和控制
規格
類型
MPG400 FPM sealed
MPG401 metal-sealed
測量范圍（空氣，N2）
5 x 10-9 … 1000
5 x 10-9 … 1000
精度 (N2)
1 x 10-8 … 100 毫巴
% of reading
≈±30%
≈±30%
可重復性
1 x 10-8 … 100 毫巴
% of reading
≈±5%
≈±5%
安裝定位
any
any
容許壓力
bar (absolute)
≤10 (limited to inert gases)
≤10 (limited to inert gases)
容許溫度
運行（環境）
°C
+5 … +55
+5 … +55
貯存
°C
–40 … +65
–40 … +65
烘烤 (1)
°C
150
150
單絲溫度（皮拉尼）
°C
120
120
電源電壓
真空計上
V (dc)
+15 … +30
+15 … +30
纜線更長的電源裝置 (2)
V (dc)
+16 … +30
+16 … +30
波紋
V (p-p)
≤1
≤1
功耗
W
≤2
≤2
可連接的保險絲
AT
≤1
≤1
輸出信號（測量信號）
電壓范圍
V
0 … +10.5
0 … +10.5
測量范圍
V
+1.82 … +8.6
+1.82 … +8.6
電壓與壓強
logarithmic, 0.6 volts per decade
logarithmic, 0.6 volts per decade
錯誤信號
無電源
V
<0.5
<0.5
皮拉尼傳感器，單絲斷裂
V
>9.5
>9.5
輸出電阻
Ω
2 x 10
2 x 10
更小負載電阻
kΩ
10, short-circuit proof
10, short-circuit proof
反應時間
p > 10-6 毫巴
ms
<10
<10
p = 10-8 毫巴
ms
≈1000
≈1000
識別真空計
85, referenced to supply common
85, referenced to supply common
狀態
僅皮拉尼模式
V
0 (low)
0 (low)
復合皮拉尼 / 冷陰極模式
V
15 … 30 (high)
15 … 30 (high)
LED
LED green
high voltage on
high voltage on
電氣連接
FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
傳感器電纜
8 poles plus shielding
8 poles plus shielding
電纜長度
m
≤50 (8 x 0.14 mm2)
≤50 (8 x 0.14 mm2)
運行電壓
kV
≤3.3
≤3.3
運行電流
μA
≤500
≤500
暴露于真空的材料
stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
內部容積
cm3
≈20
≈20
重量
DN 25 ISO-KF
g
≈700
≈730
DN 40 ISO-KF
g
≈720
≈750
DN 40 CF-F
g
≈980
≈1010
保護類別
IP 40
IP 40
標準
CE 合規
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1
1) 沒有電子和磁遮蔽。
2) 必須根據傳感器電纜的長度按比例增加電源的**低電壓。
