離子研磨儀

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公司名稱輔光精密儀器（上海）有限公司
品牌
型號
所在地上海
廠商性質其他
更新時間2023/11/14 13:14:33
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公司介紹主營產品

輔光精密儀器（上海）有限公司是的進口精密儀器和實驗室儀器供應商,是基于激光和成像等*光子技術分析測試儀器的規模性進口商和供應商和服務商。輔光儀器公司以精密光學技術為特色，以光學應用為宗旨，以歐洲,北美和日本進口精密儀器為主業,為中國客戶提供分析測試儀器產品,促進光學技術產品在中國的應用和相關技術水平提升。21世紀是光學世紀,激光,光譜,光學成像等光學技術極大地促進生物光子學,燃燒和流體力學光學診斷,光譜測試分析等學科發展和技術提升，成為前沿科學和*制造*的分析,計量,測試和實驗工具手段，因此“光學”成為“精密”的代名詞,是精密測試分析的有力實驗技術。輔光精密儀器公司就是這樣一個以光學為特色的進口分析測試儀器和實驗室儀器高科技公司,擁有齊全的進口精密光學儀器種類,數量龐大而可靠的國外生產商群體和快捷高效的國際貿易體系,是用戶信賴的進口分析測試技術儀器和實驗室儀器的旗艦型供服務商。

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離子研磨儀是為SEM或TEM電鏡樣品制備設計的離子磨裝置,使用氬離子束蝕刻樣品的橫截面,避免了物理變形和結構損傷,而不需要復雜的化學過程

離子研磨儀產品信息

離子研磨儀是為SEM或TEM電鏡樣品制備設計的離子磨裝置,使用氬離子束蝕刻樣品的橫截面,避免了物理變形和結構損傷,而不需要復雜的化學過程。
此外，該離子研磨儀通過處理從幾十微米到幾毫米的大面積，簡化了樣品的橫截面分析。

離子研磨儀特點

每小時700μm的高蝕刻速率（基于Si，8kV）
能夠保存/加載經常使用的配方
具有自動執行功能的分步配方
使用智能樣品架輕松裝載樣品
通過室內攝像機實時觀察離子束狀態和蝕刻狀態
操作方便-直觀的GUI和簡單的觸摸屏
通過離子束自動開啟/關閉功能zui大限度地減少熱損傷
使用內置數字顯微鏡與離子束快速方便地對準樣品
帶噪音、振動、無油隔膜泵
為大面積平面蝕刻提供平面銑削功能

離子研磨儀研磨過程

離子研磨儀規格參數

離子加速電壓：2-8KV

研磨速度：700?/h (at 8kV on Si wafer)

樣品臺擺角：±35°

zui大容納樣品尺寸：16(W) × 10(D) × 9.5(H)mm

樣品運動范圍：X axis : ±1.5mm，Y axis : ±2mm

平板掩模臺傾角：40° to 80°

平面研磨的樣品尺寸：?30 × 11.4(H)mm

控制：7英寸

數字顯微鏡放大倍率：5X，10x,20x,40x

氣體要求：氬氣（99.999%）