丹陽研磨液廢水處理一體化設(shè)備污水凈化裝置
在集成電路封裝制作歷程中會對晶片進(jìn)行切割和研磨,并且會運(yùn)用超純水進(jìn)行洗凈,這樣就發(fā)生了少量的切割研磨廢水。目前國內(nèi)很多的廠家是采取加藥混凝積淀和濾袋過濾方法處理的,出水到達(dá)污水綜合處理達(dá)標(biāo)排放的規(guī)范,有一些廠家盡管是采取膜法過濾處理廢水,但膜梗塞重大,清洗頻繁,少量使用化學(xué)藥劑,運(yùn)行老本昂揚(yáng)。
半導(dǎo)體研磨廢水的處理方法,其特性在于,包含如下步驟:
(1)通過廢水搜集箱搜集硅片研磨發(fā)生的廢水;
(2)應(yīng)用水泵將廢水泵入多介質(zhì)過濾器進(jìn)行一次過濾;
(3)將經(jīng)過一次過濾的水送入保安過濾器進(jìn)行第二次過濾,所述的保安過濾器用于掩護(hù)超濾膜;
(4)將經(jīng)過第二次過濾的水送入超濾膜過濾安裝中進(jìn)行第三次過濾;
(5)通過SDI測定儀或許濁度儀測定并判定經(jīng)過第三次過濾的水能否契合欲先設(shè)定的規(guī)范請求,如契合規(guī)范請求,送入產(chǎn)水箱;如不契合規(guī)范的請求, 送入廢水搜集箱反復(fù)步驟S1至S4。
生物接觸氧化法、SBR、A/O及A2/O等。常用的A/O處理技術(shù)的原理是,在缺氧池中微生物將污水中的硝酸鹽氮和亞硝酸鹽氮還原成氣態(tài)氮逸出,同時將難降解大分子有機(jī)物分解為小分子易降解物質(zhì),具有脫氮、水解和降解部分有機(jī)物的作用;在好氧池中,大部分有機(jī)物被微生物處理,并進(jìn)入二沉池進(jìn)行泥水分離,經(jīng)消毒后排出。 A/O工藝在脫硝的同時降解有機(jī)物,使需氧量大大減少,是節(jié)能型的生物處理技術(shù)。為了維持較高的硝化率,反應(yīng)停留時間比普通活性污泥法長,污泥沉降性能好,污泥增長率低,剩余污泥量少,沉降性能好。水解酸化池的出水自流入生物接觸池, 通過好氧微生物的作用,將廢水中的污染物分解、轉(zhuǎn)化為H2O、CO2 、Nspan 等物質(zhì),大幅度去除廢水中COD、BOD。接觸氧化池出水進(jìn)入MBR膜超濾系統(tǒng)進(jìn)行泥水分離,消毒后出水各項(xiàng)污染指標(biāo)達(dá)到規(guī)定的排放標(biāo)準(zhǔn). 洗衣廢水經(jīng)過上述系統(tǒng)處理后可重新進(jìn)行回用,去除硬度后,還有利于減少洗滌劑的用量,而且衣物更易清洗干凈。整個系統(tǒng)也維持著良性循環(huán)的狀態(tài)。在接觸氧化過程中采用三級接觸氧化即能確保廢水的排放,可有效地節(jié)省能源。二沉池為豎流式結(jié)構(gòu),上升流速為0.3~0.4mm/s,沉降下來的污泥輸送到污泥池。污泥池用來消化污泥,污泥池上清液輸送至生化反應(yīng)池部分,進(jìn)行再處理。污泥池消化后的剩余污泥很少,一般1~2年清理一次,清理方法可用吸糞車從檢查孔伸入污泥池底部進(jìn)行抽吸,由二沉池排出的上清液進(jìn)入消毒池消毒處理后排放。按規(guī)范考慮消毒池接觸時間大于30min。埋設(shè)于地表以下,設(shè)備上面的地表可作為綠化或其他用地,不需要建房及采暖、保溫。二級生物接觸氧化處理工藝均采用推流式生物接觸氧化,其處理效果優(yōu)于*混合式或二級串聯(lián)*混合式生物接觸氧化池。并比活性污泥池體積小,對水質(zhì)的適應(yīng)性強(qiáng),耐沖擊負(fù)荷性能好,出水水質(zhì)穩(wěn)定,不會產(chǎn)生污泥膨脹。池中采用新型彈性立體填料,比表面積大,微生物易掛膜,脫膜,在同樣有機(jī)物負(fù)荷條件下,對有機(jī)物去除率高,能提高空氣中的氧在水中溶解度。
丹陽研磨液廢水處理一體化設(shè)備污水凈化裝置
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是近些年來中國工業(yè)發(fā)展中引人注目的先進(jìn)產(chǎn)業(yè),具有很大的市場和發(fā)展?jié)摿Γ趯雽?dǎo)體晶圓變成具有各種功能的終端產(chǎn)品的過程中,根據(jù)產(chǎn)品要求及設(shè)定的尺寸大小,需要對晶圓進(jìn)行研磨和切割處理,同時在研磨和切割過程中使用水對晶圓進(jìn)行清洗,這樣就產(chǎn)生了大量的研磨和切割廢水。研磨和切割廢水中的主要污染物為懸浮顆粒物(亞微米級硅粉、納米級的金剛石磨料顆粒等)和清洗劑,此類廢水的特點(diǎn)是懸浮物濃度高,質(zhì)量輕,極難沉淀,外觀渾濁,生化性比較差而且一般呈現(xiàn)弱堿性。在沒有外加化學(xué)品的情況下,其有機(jī)物、氮、磷含量很低,幾乎可以忽略不計(jì)。
現(xiàn)有的研磨和切割廢水處理系統(tǒng)中,主要有化學(xué)混凝沉淀處理、膜過濾處理、吸附法處理等,其中以化學(xué)混凝比較常見,但是用一般PAC/PAM處理對極細(xì)小的懸浮物處理效果不佳且沉降很慢,使處理后的水不易被回收再利用。現(xiàn)我司有礦粉絮凝藥劑,可以將此類廢水里的難溶小顆粒有效聚團(tuán)并快速沉降,有利于廢水回用。
產(chǎn)品測試:
此款礦粉絮凝劑適用于所有工業(yè)廢水中 SS 的去除,主要側(cè)重對清洗類廢水的處理,如有色、有味、高懸浮物廢水的處理,本產(chǎn)品中含有的比面積大的多孔性物質(zhì),具有很強(qiáng)的表面活性,吸附能力強(qiáng);同時兼具一定的除磷及 COD 去除功能,且污泥性狀較好。
案例介紹:
某半導(dǎo)體制造企業(yè),原有工藝用PAC/PAM處理,絮體顆粒細(xì)小且沉降慢,對其后道膜過濾回收利用沖擊較大,使用我司的礦粉絮凝劑后,絮體/礬花聚團(tuán)且沉降速度快,縮短了工藝沉淀時間,大大提高客戶的膜處理回用效率。