產品介紹：

名 稱：安賽斯可編程勻膠機HC220SE

型 號：HC220SE

原產地：

應 用：HC220SE高精度勻膠機，采用高級PLC 模塊，工業級伺服電機，全自動程序控制，轉速精度高，穩定性好。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。

產品概述：

　　HC220SE高精度勻膠機，采用高級PLC 模塊，工業級伺服電機，全自動程序控制，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。
　　工業級別200瓦伺服電機系統，采用與track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品中的達到50000RPM/S的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定性和的可重復性。

性能參數：

• 適用晶元尺寸范圍：Ø5~220mm；
• 旋涂速度：0~10000rpm；
• 轉速分辨率：1rpm；
• 旋涂加速度：0-50000rpm/s（空載）；
• 旋涂時間：3000s；
• 旋涂時間精度：0.1s；
• 內腔壁采用的凹面防濺設計；
• 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序100步；
• 均勻性：<±3%(需去邊3mm區域測量)；
• 電源輸入：AC200-230V；

產品特點：

• 采用高級PLC模塊，工業級伺服電機；8英寸彩色觸屏控制，人機界面；

• HDPE高分子內腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；內腔壁采用的凹面設計，有效防濺；

• 可編程寫和存儲100組程序，每組100步；

• 帶真空度安全互鎖檢測功能；帶蓋子安全互鎖檢測功能；帶排廢接口；

• 具有電機進膠保護功能；管路易疏通設計；具有真空不足提示及保護功能，具有斷電后參數自動保存功能。

• 正、反轉旋涂方向可自由切換；旋涂參數可設置循環執行；速度-時間曲線實時顯示；

• 可設置用戶密碼保護功能；配置可調基座，方便調節水平；

HDPE高分子耐腐蝕內腔

8英寸彩色觸摸屏人機界面

產品外型尺寸：
444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)

咨詢或索取詳細產品資料，請聯系ANALYSIS（安賽斯）工作人員。

全國統一客服：