Alicat MCR高流量 質量流量控制器
快速質量流量控制器和儀表使過程控制和校準過程更加高效。Alicat提供多種方法來定制您的氣體流量計或控制器,以用于低壓降,高壓或腐蝕性應用。標準功能包括實時讀數,快速閥門響應和多氣體校準。大多數型號可以定制,流速高達5000 slpm或低至2.5sμlm/ 0.0025 sccm。
產品特點:
● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
● 多參數控制,如體積流量、質量流量和壓力
● 標配三種控制方式:數字、模擬和本地面板
● 可選高精度:優于0.5%
● 高量程比 200:1
● 響應時間快 僅需100ms
● 內置98種氣體
● 可現場標定混合氣體,并存儲20種混合氣
應用:
● 大學/研究所
● 環境監測
● 真空行業及鍍膜
● 工業爐窯
● 半導體
● 汽車制造
● 光伏
● 燃料電池
● 計量
● 過程工藝氣體測量