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GF80 / GF81 系列金屬密封熱質量流量控制器和儀表

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱東莞市奧馬控制設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/10/27 12:58:56
  • 訪問次數272
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東莞市奧馬控制設備有限公司專業代理液位、流量、壓力、 溫度、控制等工業自動化組件,公司成立于1992年,總部設在經濟快速增長的國際大都市-香港,分部設在中國大陸經濟騰飛中的東莞虎門鎮。本公司所有產品均屬一級代理, 主要經營歐美品牌。經過了28年的不懈努力和不斷創新開拓,現今已擁有完善的專業技術和售后服務隊伍。一系列以Omar 為品牌的產品,在2004年正式面世; 2006 年開始更推出一系列價廉質優”的產品;為了促進公司的發展及迎合廣大客戶的市場需求,于2007 年東莞分公司成功申辦成為一般納稅人。秉承-貫以“忠誠可靠、廉潔守法”為宗旨,始終堅持以“優質服務、優良品質和合理價格為發展方向,我們深信,只有堅守“貨真價實”與優質的售前售后服務”,才得以贏取廣大客戶的長期支持與信賴。展望未來,我們誠摯希望與您攜手共創輝煌佳績!
流量范圍 – 滿量程容量 : GF80 : 3 sccm – 50 slm ; GF81 : 51-300 slm 精度 : GF80 : ±1% S.P. 35-99% , ±0.35% F.S. 2-35% ; GF81 : ±1% S.P. 35-99% , ±0.35% F.S. 5-35% 重復性 : GF80 : ±0.20% S.P.; GF81 : 0.15% S......
GF80 / GF81 系列金屬密封熱質量流量控制器和儀表 產品信息

對于許多工業和半導體加工過程,性能和成本效率同樣重要。GF80 系列金屬密封質量流量控制器擁有以下兩個特點:設計采用與的 GF100 系列響應速度相同的傳感器以及第四代 MultiFlo™ 技術,該產品是高性價比運營的正確選擇。另外,金屬密封的 MFC 擁有 MultiFloTM 多氣體/多量程功能所帶來的全部優勢,原因是可用氣體方面沒有限制并且由于不會發生彈性體氧滲透而提升了氣體純度,同時還由于金屬密封件有效期相當長而減少了維護工作量。

 

特點

* 長期零點穩定性,每年變動小于滿量程的 ± 0.5%

* 1 秒內穩定

* 滿量程流速高達 300 slpm

* 全金屬密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面處理

* 耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器可在較低溫度下工作,適用于易發生熱分解的氣體

* 可編程 MultiFloTM 功能 - 一臺設備即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求,無需從氣路上拆 除 MFC 并且不影響精度

* 通過有源溫度補償實現的溫度系數規范

* 內嵌式常規自檢功能和獨立的診斷/維護端口

* 帶有 VCR 配件的細線體設計

* DeviceNetTMProfibus®RS-485 和模擬接口

 

優勢

* 1 秒完成流量穩定,消除廢氣和過程變量影響

* 未采用會發生氧滲透并且使用一定時間之后需要進行更換的彈性體密封件

* MultiFloTM 精簡了過程氣體切換操作無需再拆除并重新校準 MFC

* 60 秒內即可完成新氣體和/或量程的設定操作

* 測量精度不受溫度變化影響

* 可輕松訪問診斷端口以實現運行時間

* 規格緊湊,可輕松集成至緊張的設備空間內;設備改型的選擇

* 多協議通信接口可簡化向現有系統的集成操作

 

應用

* 對翻新后的半導體加工工具中的原有 MFC 進行經濟高效的改型/升級

* 減少六英寸/八英寸半導體工廠的 MFC 庫存

* 用于 LED 和功率器件生產的 MOCVD

* 太陽能/薄膜化學氣相沉積 (CVD) 系統

* 分析用 OEM 設備
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