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GF80 / GF81 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱東莞市奧馬控制設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/10/27 12:58:56
  • 訪問次數(shù)267
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東莞市奧馬控制設(shè)備有限公司專業(yè)代理液位、流量、壓力、 溫度、控制等工業(yè)自動化組件,公司成立于1992年,總部設(shè)在經(jīng)濟快速增長的國際大都市-香港,分部設(shè)在中國大陸經(jīng)濟騰飛中的東莞虎門鎮(zhèn)。本公司所有產(chǎn)品均屬一級代理, 主要經(jīng)營歐美品牌。經(jīng)過了28年的不懈努力和不斷創(chuàng)新開拓,現(xiàn)今已擁有完善的專業(yè)技術(shù)和售后服務(wù)隊伍。一系列以O(shè)mar 為品牌的產(chǎn)品,在2004年正式面世; 2006 年開始更推出一系列價廉質(zhì)優(yōu)”的產(chǎn)品;為了促進公司的發(fā)展及迎合廣大客戶的市場需求,于2007 年東莞分公司成功申辦成為一般納稅人。秉承-貫以“忠誠可靠、廉潔守法”為宗旨,始終堅持以“優(yōu)質(zhì)服務(wù)、優(yōu)良品質(zhì)和合理價格為發(fā)展方向,我們深信,只有堅守“貨真價實”與優(yōu)質(zhì)的售前售后服務(wù)”,才得以贏取廣大客戶的長期支持與信賴。展望未來,我們誠摯希望與您攜手共創(chuàng)輝煌佳績!
流量范圍 – 滿量程容量 : GF80 : 3 sccm – 50 slm ; GF81 : 51-300 slm 精度 : GF80 : ±1% S.P. 35-99% , ±0.35% F.S. 2-35% ; GF81 : ±1% S.P. 35-99% , ±0.35% F.S. 5-35% 重復(fù)性 : GF80 : ±0.20% S.P.; GF81 : 0.15% S......
GF80 / GF81 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表 產(chǎn)品信息

對于許多工業(yè)和半導(dǎo)體加工過程,性能和成本效率同樣重要。GF80 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器擁有以下兩個特點:設(shè)計采用與的 GF100 系列響應(yīng)速度相同的傳感器以及第四代 MultiFlo™ 技術(shù),該產(chǎn)品是高性價比運營的正確選擇。另外,金屬密封的 MFC 擁有 MultiFloTM 多氣體/多量程功能所帶來的全部優(yōu)勢,原因是可用氣體方面沒有限制并且由于不會發(fā)生彈性體氧滲透而提升了氣體純度,同時還由于金屬密封件有效期相當(dāng)長而減少了維護工作量。

 

特點

* 長期零點穩(wěn)定性,每年變動小于滿量程的 ± 0.5%

* 1 秒內(nèi)穩(wěn)定

* 滿量程流速高達 300 slpm

* 全金屬密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面處理

* 耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器可在較低溫度下工作,適用于易發(fā)生熱分解的氣體

* 可編程 MultiFloTM 功能 - 一臺設(shè)備即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求,無需從氣路上拆 除 MFC 并且不影響精度

* 通過有源溫度補償實現(xiàn)的溫度系數(shù)規(guī)范

* 內(nèi)嵌式常規(guī)自檢功能和獨立的診斷/維護端口

* 帶有 VCR 配件的細線體設(shè)計

* DeviceNetTMProfibus®RS-485 和模擬接口

 

優(yōu)勢

* 1 秒完成流量穩(wěn)定,消除廢氣和過程變量影響

* 未采用會發(fā)生氧滲透并且使用一定時間之后需要進行更換的彈性體密封件

* MultiFloTM 精簡了過程氣體切換操作無需再拆除并重新校準 MFC

* 60 秒內(nèi)即可完成新氣體和/或量程的設(shè)定操作

* 測量精度不受溫度變化影響

* 可輕松訪問診斷端口以實現(xiàn)運行時間

* 規(guī)格緊湊,可輕松集成至緊張的設(shè)備空間內(nèi);設(shè)備改型的選擇

* 多協(xié)議通信接口可簡化向現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作

 

應(yīng)用

* 對翻新后的半導(dǎo)體加工工具中的原有 MFC 進行經(jīng)濟高效的改型/升級

* 減少六英寸/八英寸半導(dǎo)體工廠的 MFC 庫存

* 用于 LED 和功率器件生產(chǎn)的 MOCVD

* 太陽能/薄膜化學(xué)氣相沉積 (CVD) 系統(tǒng)

* 分析用 OEM 設(shè)備
15700106413
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