INFICON英福康氦氣檢漏儀儀器
UL3000 Fab 有著當(dāng)今市場上極快的泄漏檢測速度，可提供的用戶體驗。
UL3000 Fab 專為滿足半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的專業(yè)要求而開發(fā)，如半導(dǎo)體和光電顯示(包括子部件)的泄漏測試。
INFICON英福康氦氣檢漏儀儀器
易操作，分析和備份測量結(jié)果
■ 觸摸顯示可為用戶提供直觀指導(dǎo)
■ 現(xiàn)代的菜單結(jié)構(gòu)
■ 可旋轉(zhuǎn)的全彩色高分辨顯示器
■ 用通過Wi-Fi 在移動設(shè)備上實現(xiàn)遙控
■ 數(shù)據(jù)存儲能力
■ 用 U 盤輸出數(shù)據(jù)(有訪問控制)
快速的測量結(jié)果節(jié)省時間
I·CAL: 軟件程序用于在10-9至10-12 毫巴 升/秒量程內(nèi)的快速測量
HYDRO·S: 軟件用于限制水汽本底使它能快速達(dá)到靈敏的測量范圍 (UL3000 Fab PLUS)
I·ZERO 2.0: 智能的抑零功能用于當(dāng)維持高測量靈敏度時的快速本底抑制
最小可檢漏率：<5x10-12 毫巴 升 /秒
吸槍模式: 最小可檢漏率，<5x10E-8 毫巴 升 /秒
