該設備是固體器生產過程涂復光刻膠的專用設備。采用電子調速、光電測速 、轉數字顯示。具有轉速平穩、操作簡便、可靠性高等特點,各旋轉工位運轉系統獨立控制。使用高速電機旋轉真空工位吸附利用離心作用,并有低高兩次轉速的運轉方式,使涂敷膠膜均勻性更好,適合科研單位和生產單位進行大批量生產使用。
主要技術指標:
1、電源:380V/220V/50Hz 1100W
2、轉速:200~9000r/min(無級)
3、勻膠時間:0-60秒
4、適合片徑:≤Ф100mm
5、勻膠工位:1-4(可根據客戶需求定做)
6、外型尺寸:800×500×1800mm
7、整機重量:110Kg
8、預留100級層流罩安裝位