一、簡(jiǎn)介

FT-NMT04是一個(gè)多功能的原位SEM/FIB納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)，能夠準(zhǔn)確地量化材料在微米和納米尺度上的力學(xué)行為。作為基于MEMS傳感器的納米壓痕，F(xiàn)T-NMT04是基于FemtoTools微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)。利用二十多年的技術(shù)創(chuàng)新，這種原位納米壓痕具有超高的分辨率、可重復(fù)性和動(dòng)態(tài)響應(yīng)。

FT-NMT04為金屬、陶瓷、薄膜以及超材料和MEMS等微結(jié)構(gòu)的力學(xué)測(cè)試而優(yōu)化。此外，通過(guò)使用各種附件，F(xiàn)T-NMT04的力學(xué)測(cè)試能力可以擴(kuò)展到各個(gè)研究領(lǐng)域的多功能要求。

二、 功能

• 功能特點(diǎn)：

納米壓痕、壓縮、拉伸、斷裂和疲勞測(cè)試

基于MEMS的傳感技術(shù)實(shí)現(xiàn)了超高的分辨率和重復(fù)性，力從0.5 nN到200 mN，位移從0.05 nm到21 mm。

能夠進(jìn)行連續(xù)剛度測(cè)量（CSM）或高達(dá)500Hz的疲勞測(cè)試，而不需要復(fù)雜的動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)

真正的位移控制測(cè)試，使快速應(yīng)力下降的量化成為可能（也可以選擇基于力反饋的力控制測(cè)量）。

3或4軸（x、y、z、旋轉(zhuǎn)），閉環(huán)傳感器，使用所有軸上的位置編碼器對(duì)準(zhǔn)樣品

高溫測(cè)試，可高達(dá)800°C

能夠?qū)悠芬来螌?duì)準(zhǔn)納米壓頭、電子束和EBSD檢測(cè)器，以評(píng)估特定晶粒和位置的硬度（僅適用于4軸配置）。

簡(jiǎn)單確定壓頭面積函數(shù)和框架順應(yīng)性

強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析工具來(lái)評(píng)估測(cè)量結(jié)果，并應(yīng)用配合或函數(shù)來(lái)計(jì)算材料屬性

SEM樣品臺(tái)支架使系統(tǒng)能在SEM腔內(nèi)快速安裝和拆卸

緊湊的模塊化設(shè)計(jì)使其能夠集成到幾乎所有的SEM中

可定制的測(cè)量程序和原理

• 技術(shù)參數(shù)：

力傳感器

- Max：200 mN

- 本底噪聲：0.5 nN（在10 Hz）。

- 測(cè)量頻率可達(dá)96 kHz

位移傳感（粗略的）

- 位移范圍：21毫米

- 位移本底噪聲：1 nm (在10 Hz)

- 測(cè)量頻率：50 Hz

位移傳感（精細(xì)）

- 位移范圍：25 μm

- 位移本底噪聲：0.05 nm (10 Hz時(shí))

- 測(cè)量頻率可達(dá)96 kHz

3軸和4軸力傳感器對(duì)準(zhǔn)樣品

- X、Y、Z閉環(huán)定位范圍：21mm x 12mm x 12 mm

- X、Y、Z閉環(huán)定位本底噪聲：1納米

- 樣品旋轉(zhuǎn)范圍： 360°

三、 應(yīng)用

典型的應(yīng)用包括通過(guò)微柱壓縮測(cè)試或狗骨試樣拉伸測(cè)試、薄膜或納米線來(lái)量化塑性變形機(jī)制。此外，在壓縮測(cè)試中的連續(xù)剛度測(cè)量可以量化微梁斷裂測(cè)試中的裂紋生長(zhǎng)和斷裂韌性。由于FT-NMT04具有低本底噪音（500pN和50pm），F(xiàn)T-NMT04可以實(shí)現(xiàn)可重復(fù)性的低位移納米壓痕，以及與EBSD圖譜好的關(guān)聯(lián)性。