集優異性能、操作簡便性、多樣化功能于一身 日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴展性,結合眾多的自動化功能,可高效發揮其高性能。 SU3900標配多功能超大樣品倉,可應對大型樣品的觀察。
SU3900標配多功能超大樣品倉,可應對大型樣品的觀察 樣品臺可搭載超大/超重樣品 · 通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設備或樣品· 選配樣品交換倉,可在主樣品倉保持真空的狀態下快速更換樣品,大大提高了工作效率 · 具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度* · 紅外CCD探測器,提高了樣品臺移動的安全性 · 與GUI聯合,可配備樣品倉室導航相機 · 覆蓋整個可觀察區域 · 支持360度旋轉 | ![]() |
隨著各種自動化功能的強化,操作性能得到了進一步優化 各種自動化功能 · 自動調整算法經改良后,等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例) · 提高了自動聚焦精度 · 搭載Intelligent Filament Technology(IFT) Multi Zigzag,可實現多區域的大視野觀察 Report Creator,可利用獲得的數據批量生成數據報告 | ![]() |
可提供滿足測試需求的應用解決方案 · 搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察 · 高靈敏度半導體式背散射電子探測器,切換成分/凹凸等多種圖像 配備了多功能超大樣品倉,可以搭載多種配件 · SEM/EDS一體化功能* 三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D* 支持圖像測量軟件Image pro *配件 | ![]() |
ITEM | SU3800 | SU3900 | |
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二級電子分解能 | 3.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式) | ||
15.0nm(加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式) | |||
背散射電子分解能 | 4.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式) | ||
倍率 | ×5~×300,000(照片倍率*1) | ||
×7~×800,000(實際顯示倍率*2) | |||
加速電壓 | 0.3kV~30kV | ||
低真空度設定 | 6~650 Pa | ||
圖像位移 | ±50µm(WD=10mm) | ||
*大樣品尺寸 | 200mm直徑 | 300mm直徑 | |
樣品臺 | X | 0~100mm | 0~150mm |
Y | 0~50mm | 0~150mm | |
Z | 5~65mm | 5~85mm | |
R | 360°連續 | ||
T | -20°~+90° | ||
*大可觀察范圍 | 130mm直徑(R并用) | 200mm直徑(R并用) | |
*大可觀察高度 | 80mm(WD=10mm) | 130mm(WD=10mm) | |
電機驅動 | 5軸電機驅動 | ||
電子光學系統 | 電子槍 | 中心操控式鎢絲發射 | |
物像鏡頭光圈 | 4孔可動光圈 | ||
檢測系統 | 二級電子檢測器、高靈敏半導體背散射電子檢測器 | ||
EDX分析WD | WD=10mm(T.O.A=35°) | ||
圖像顯示 | 自動光軸調整功能 | 自動光束調整(AFS→ABA→AFC→ABCC) | |
自動光軸調整(實時級別對齊) | |||
自動調整光束亮度 | |||
自動圖像調整功能 | 自動亮度和對比度控制(ABCC) | ||
自動對焦控制(AFC) | |||
自動標記和焦點功能(ASF) | |||
自動燈絲飽和度調整(AFS) | |||
自動光束對準(ABA) | |||
自動啟動(HV-ON→ABCC→AFC) | |||
操作輔助功能 | 光機旋轉、動態聚焦、圖像質量改善功能、數據輸入(點對點測量、角度測量、文本)、預設放大、樣品臺位置導航功能(SEM MAP)、光束標記功能 | ||
配件 | ■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機、高靈敏度操作低空探測器(UVD)、紅外CCD探測器、攝像機導航系統■軟件:SEM數據管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成 | ||
配件(外部裝置) | 能量散射X射線分析儀(EDS)、波長色散X射線分析儀(WDS)、 各種外部功能臺(加熱臺、冷卻臺、牽引臺) |
* 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm(1,920 x 1,080像素)的顯示尺寸。