CPN-SC-100 標準型勻膠機主要適用于半導體硅片、晶片、ITO 導電玻璃、光學
玻璃等工藝制版及表面涂覆,各種光刻膠表面膜制備。采用變頻技術控制旋涂速度與
時間,有效控制膠的厚度、均一性??蓱糜诟餮芯款I域前期研發及小規模生產。
性能描述
1、控制顯示:LED 數字控制器,用戶可通過控制器進行參數修改設置
2、勻膠模式:可同時輸入七組數值,即轉速及勻膠時間可任意設置為Ⅰ檔、Ⅱ擋、……Ⅶ檔,轉速啟動后先低速運轉(Ⅰ檔),然后自動執行Ⅱ檔、……Ⅶ檔,直至達到高速運轉。
主要技術指標
1、勻膠時間:1~9999s 任意時間可設置
2、勻膠速度:0~8000rmp 可調
3、旋轉加速度:0~8000rpm/sec
4、加速時間:0.1s~0.5s
5、轉速穩定度:±1rmp
6、涂膠均勻性:±3%
7、可鍍膜尺寸:Ф5~Ф150mm(6″)
8、基片厚度: ≤5mm
9、設備配置Ф200mm 接膠裝置
10、電機額定功率 90W,額定轉速 8000rmp
11、輸入電源: AC220V/240V 50HZ
12、機身尺寸: 280×360×240mm
13、機身重量:10Kg