KW-5型臺式勻膠機

中國半導體行業協會CSIA推薦中國 SIYOUYEN?

臺式勻膠機：（Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導體大型晶圓硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,華陽板等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。

詳細介紹： 勻膠機(英文名：Spin Coater)

行業俗稱:勻膠臺,甩膠機,涂膠機,鍍膜機,涂層機,旋涂機,旋涂儀等。

型號MODEL KW-5型

產品概述:

SIYOUYEN品牌KW型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.

勻膠機穩定的轉速和快速的啟動,可以保證半導體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是KW型均勻膠機的特點.

該機在這方面采取了許多措施:

(一)該設備采用,采用進口配件(韓國定子和轉子，美國電機）

(二)定子和轉子分開供電.定子用穩定電源供勵磁電流,轉子用開關電源調速,它比可用控硅調速*得多,轉速在1000~5000轉/分范圍內非常穩定.

(三)本勻膠機有兩個轉速.在啟動之后,先以低速運轉,使膠攤開,然后自動變到高速運轉.兩種轉速及相應的時間分別可調.

(四)本勻膠機測速采用光電的辦法,在光電測速盤的邊上有三個缺口,(反射帶和吸收帶)分布于盤的周圍，盤邊的下面安裝有光電開關,光源照到光電經反射到接收器,產生光電脈沖,測速盤旋轉一周,產生三個脈沖.閘門由秒脈沖電路產生,周期為兩秒.當馬達旋轉時,如果計時器在2秒內計的得數是n,則每分鐘應該轉了n/(2x3)=n/6轉,每分鐘旋轉(n/6)x60=10n轉.故計數器就是每分鐘轉速,只不過差一個數量級.

(五)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個氣泵可同時帶幾個勻膠機工作,提高了效率.

(六)勻膠機的定時功能由時基電路556來完成,把556按單穩形式連接,改變RC常數,就可以改變兩個勻膠時間.

(七)智能型調節勻膠時間,時間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘.

(八)在安裝結構上,采取了減振措施,保證了在運轉時噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調節轉速調節涂覆厚度.

(九)勻膠機配真空泵使用（KW-5型勻膠機 推薦使用雙級無油環保真空泵 SML-140型）

1,特點是雙轉速勻膠機,兩檔轉速及勻膠時間分別連續節,在啟動后先低速運轉,經幾秒鐘后轉換到高速運轉.

Ⅰ檔 調速范圍：500 -1000轉/分 Ⅰ檔 勻膠時間：2-18秒

Ⅱ檔 調速范圍：1000-5000轉/分 Ⅱ檔 勻膠時間：3-60秒

2,進口轉子,穩定性能更好,轉速調節以數字顯示為準.

3,LED數字顯示,轉速穩定度：±1% ,膠的均勻性：±3% .

4,三相電源：380V

5,電機功率：180W

6,適用：Φ100-Φ200mm（4”~~8”）硅片及其它材料等勻膠.

7,真空泵抽氣速率 ≥1200升/分

8,設備尺寸：500×500×460 mm