日本英福康 UL300O Fab 可移動式氦氣檢漏儀
始終嶺先一步新一代檢漏儀
長久以來，INFICON泄漏檢測技術一直是高性能和易用性方面的彪桿。UL3000 Fab有著當今市場上極快的泄漏檢測速度，可提供最加用戶體驗。UL3000 Fab專為滿足半導體制造領域的專業要求而開發，如半導體和光電顯示(包括子部件)的泄漏測試。
UL3000 FAB ULTRA 的附加*性。
·較早地起始泄漏檢查，由于HYDRO·S軟件限制水蒸汽本底，使它有可能快速進入高靈敏的測量范圍。
·快速抽空，由于對空氣的高抽速。
·低使用成本(TCO)由于無需維護的羅茨粗抽泵。
低的運行和維護成本
維護費用低，使用壽命長:
·堅實耐用的真空系統
·加固的離子源,長達三年保修期
易于進入應用區域
·小型和堅實的結構,穩定和良好的移動性
·重心低，易搬運
·大膠輪,易于翻越障碼物
典型的應用
■INFICON 檢漏儀日常用于大型半導體生產中
■各種過程工藝包括:刻蝕.CVD,PVD,真空爐,離子注入，MOCVD,太陽能,FPD 等
■工藝維護后快速確認工藝的完整性和應修復的漏孔部位
■在次級生產中的真空管線和泵
■氣柜和復雜的氣體輸送管線
■生產設施和治理
附件直接配置在設備上
■氮氣瓶座在檢漏儀上
■真空軟管架在設備上
■附件在可鎖的貯物格內
*性一覽
·在10-9至10-12毫巴升/秒范圍內 快速測量的I·CAL軟件算法。
·采用I·ZERO2.0智能零點功能，可在維持高測量靈敏度的同時實現快速本底抑制達到醉有效的泄漏檢測。
·適用真空和吸槍泄漏搜索。
·通過快速抽空和響應時間將泄漏，檢測的困難程度將至醉低。
·超薄設計，操作方便，節省時間。
·低的使用成本(TCO)來自堅實的離子源(3年保修期)和逆流型真空系統。
·易于使用，指導操作的HMI帶有全色彩的高分辨率可旋轉顯示器。
日本英福康 UL300O Fab 可移動式氦氣檢漏儀
您的泄漏檢測解決方案專家
INFICON可為高度專業化行業中要求極為苛刻的真空過程提供全求嶺先的測量和傳感器技術及過程管理服務。特別是在制冷和空調技術,半導體制造和汽車生產等領域，INFICON的氣體泄漏檢測產品有著廣泛應用。
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