關鍵技術

● 實現高精度測量的一次離子槍

● 三重離子束聚焦質量分析器，復雜形貌樣品的高精度分析

● TOF-SIMS 自動多樣品測試

● 的離子束技術

● 通過平行成像 MS/MS 進行分子結構分析

● 可靠的遠程訪問功能，即使在遠離設備的情況下也能進行“測量”和“診斷”

● 多樣化配置

實現高精度測量的一次離子槍

的離子束技術，實現高空間分辨率

● PHI nanoTOF3 能提供高質量分辨和高空間分辨的 TOF-SIMS 分析：在高質量分辨模式下，其空間分辨率優于 500 nm；在高空間分辨模式下，其空間分辨模式優于 50 nm。通過結合高強度離子源、 高精度脈沖組件和高分辨率質量分析器，可實現低噪聲、高靈敏度和高質量分辨率的測量。

三重離子束聚焦質量分析器(TRIFT)，復雜形貌樣品的高精度分析

三重離子束聚焦質量分析器，適用于寬帶通能量、寬立體接受角度、各種形貌樣品分析

● 主離子束激發的二次離子會以不同角度和能量從樣品表面飛出，特別是對于有高度差異和形貌不規則的樣品，即使相同的二次離子在分析器中會存在飛行時間上的差異，因此導致質量分辨率變差，并對譜峰形狀和背景產生影響。

● TRIFT 質量分析器可同時對二次離子發射角度和能量進行校正，保證相同二次離子的飛行時間一致，所以 TRIFT 兼顧了高質量分辨率和高檢測靈敏度優勢，對于不平整樣品的成像可以減少陰影效應。

TOF-SIMS自動多樣品測試

Queue Editor實現多樣品自動測試

● 您可以輕松創建和編輯包括質譜分析、成像分析和深度剖析在內的所有測試方案。測試方案中除了測試條件外，還包括測試位置的信息。在創建測試序列后，程序可根據測試方案自動進行多樣品多點分析。

全自動樣品傳送系統

● PHI nanoTOF 3 配置了在 XPS 的Q系列上表現優異的全自動樣品傳送系統：樣品尺寸可達 100mm × 100mm，而且分析室標配內置樣品托停放裝置；結合分析序列編輯器（Queue Editor），可以實現對大量樣品的全自動連續測試。

離子束技術

采用新開發的脈沖氬離子槍，獲得的自動荷電雙束中和技術

● TOF-SIMS 測試的大部分樣品為絕緣樣品，而絕緣樣品表面通常有荷電效應。PHI nanoTOF 3 采用自動荷電雙束中和技術，通過同時發射低能量電子束和低能量氬離子束，可實現對任何類型和各種形貌的絕緣材料的真正自動荷電中和，無需額外的人為操作。

標配離子槍新增FIB(Focused Ion Beam)功能

● 在 PHI nanoTOF 3 中，液態金屬離子槍增加了 FIB 處理新功能，可使用單個離子槍進行橫截面處理和橫截面 TOF-SIMS 分析。
● 通過操作計算機，可快速輕松地完成從 FIB 處理到 TOF-SIMS 分析的全過程。此外，也具備冷卻條件下 FIB 加工能力。

通過平行成像MS/MS進行分子結構分析

MS/MS平行成像同時采集MS1/MS2數據（）

● 在 TOF-SIMS 測試中，MS1 質量分析分析器接收從樣品表面產生的所有二次離子碎片，對于質量數接近的大分子離子，MS1 譜圖難以區分。通過安裝串聯質譜 MS2，對于特定離子進行碰撞誘導解離生產特征離子碎片，MS2 譜圖可以實現對分子結構的進一步鑒定。

● PHI nanoTOF 3 具備串聯質譜 MS/MS 平行成像功能，可同時獲取分析區域的 MS1 和 MS2 數據，為分子結構的精準分析提供了強有力的工具。

可靠的遠程訪問功能，即使在遠離設備的情況下也能進行“測量”和“診斷”

遠程訪問實現對儀器的遠程控制

● PHI nanoTOF 3 允許通過局域網或互聯網訪問儀器。只需將樣品臺放入進樣室，就可以對進樣、換樣、測試和分析等所有操作進行遠程控制。我們的專業人員可對儀器進行遠程診斷。

多樣化的配置

● 串聯質譜

● 氬團簇離子源

● 氬/氧氣離子源

● 銫離子源

● 碳60離子源

● 樣品臺高/低溫模組

● 真空傳輸管

● 惰性氣氛手套箱

● 觀察曲面樣品專用樣品托

● 通氧模組

● 聚焦離子束

● 聚焦離子束軟件

● 離線數據處理軟件

● 靜態質譜圖庫