消耗少量光刻膠
多種選配功能
適用多種材料
占地空間少
無需要更換零件
自動晶圓尺寸識別
抗蝕劑、聚酰亞胺和摻雜劑的全自動 C 到 C 應(yīng)用 / 烘烤
與晶圓尺寸相匹配的緊湊型外殼
無需更改設(shè)置即可處理多種尺寸的晶圓。
從低粘度到高粘度的豐富支持。
支持200μm以上翹曲的輸送系統(tǒng)
COO減少和定制支持通過各種選項(xiàng)菜單實(shí)現(xiàn)。
高規(guī)格
高規(guī)格處理量:1000張/天以上
設(shè)備尺寸:大型
機(jī)器人:2臺或自走式
標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)處理量:500張/天以上
設(shè)備尺寸:中型
機(jī)器人:1臺
研發(fā)
研發(fā)處理量:100張/天或更多
設(shè)備尺寸:小型
機(jī)器人:無