EZ4勻膠機被設計為結構緊湊、簡單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內操作。EZ4采用全陽極氧化鋁面板外殼，PP材料內腔，經久耐用。

   產品性能介紹：

◆   結構緊湊

EZ4外型尺寸為：210(W)*250(D)*200(H)，特別適合放于手套箱內操作。可旋涂4寸圓晶的底物。

◆   簡單易用

文本顯示屏，界面簡單易用，清晰的功能按鍵，方便靈活操作。

◆  程控操作

可提供單步或多步編程旋涂工藝運行，最多可運行5步不同轉速及加速度的旋涂程序。

◆   性能穩定

工業級直流馬達，單片機控制，轉軸旋轉穩定，重復性好。

◆   設計新穎

全鋁合金外殼，陽極氧化鋁耐腐蝕機身。全PP注塑耐腐蝕易清潔旋轉腔，PC耐腐蝕透明蓋。

產品參數說明：

 ●PP耐腐蝕、易清潔注塑內腔，HDPE耐腐蝕真空吸盤l

 ●陽極氧化鋁耐腐蝕機身，美觀耐用l

 ●耐溶劑性PC透明蓋子，恒定扭矩定位功能l

 ●文本顯示器，按鍵控制l

 ●75W直流無刷電機，單片機控制l

 ●可處理碎片（小于1cm）至4英寸圓晶底物l

 ●轉速可控范圍：100-9999RPM，轉速分辨率：1RPMl

 ●加速度可控范圍：100-9999RPM/Sl

 ●單步步長：3000s，時間分辨率：1s

 ●可進行多步程序運行，最多編輯運行5步程序l

●寬輸入電壓適用：AC100-230V輸入

產品外形尺寸：外形尺寸：210 (W) * 265(D) *213(H)