9861 系列高溫質量流量控制器和儀表
提升高溫流量控制的準確性和效率
布魯克斯儀器 9861 系列高溫熱質量流量控制器和儀表專為在高溫相關苛刻條件下輸送可冷凝前體和摻雜劑設計，該產品采用高純度、無泄漏一體化金屬流路，可確保兼容過程氣體和蒸汽。 IsoSensor™ 是一種穩定性的流量傳感器，可兼容加熱氣體管線和烘干系統中苛刻的環境溫度。IsoSensor™ 傳感器的低漂移性能可使高溫應用無需頻繁重新調零和重新校準。
特點
- 穩定的 IsoSensor™ 流量測量傳感器
- 高純度流路
- 遠程控制電子元件（標配兩個模擬電子連接器）
- 數字測量和控制架構
優勢
- 傳感器穩定性高，可保障運行時間、減少維護工作并降低總體擁有成本
- 全金屬接液流路可確保氣體/蒸汽完整性和純度
- 包括 20 引腳卡緣連接器和 9/15 引腳“D”連接器，可實現標準化并減少庫存
- 強化準確性和過程控制
應用
- 光纖制造 – MCVD
- 硅材料半導體器件加工工藝
