GF135 系列金屬密封熱質量流量控制器
半導體產品
金屬密封熱
使用 GF135 診斷式壓力變化補償型 (PTI) 質量流量控制器確保關鍵流量過程的準確控制并使通量。“智能”質量流量控制器，該產品執行累積衰減比流量測定，無需停止過程氣體輸送。半導體制造商可利用該產品實時驗證過程氣體流量準確性、檢查泄漏情況并監視傳感器穩定性同時無需將流量控制器從氣路上拆除。
GF135 PTI MFC 將全金屬接液流路、穩定功能和過程氣體精度相結合，能夠改變各種淀積工藝的生產效率和吞吐率。
特點
- 長期零點穩定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5%
- 穩定時間短：<300 ms – <400 ms
- 滿量程流速：3 sccm 至 5 slm
- 4µ 英寸 Ra 表面處理
- 借助衰減率 (ROD) 技術實現的嵌入式實時流量故障檢測與預測功能
- 加強過程氣體測量精度 – 可提升三倍 – 經氣體實測優化的高級氣體建模功能
- 壓力變化補償 (PTI) 技術
- 高清晰度的可旋轉電子 LCD 顯示屏能夠本地顯示流量、溫度、壓力和網絡地址
- DeviceNet™、RS-485 和模擬接口
優勢
- 實時流量故障檢測功能可快速地根據流量偏差進行調節并能夠提高晶圓成品率
- 傳感器穩定性跟蹤功能可通過預防性維護延長系統運行時間
- 閥泄漏跟蹤功能有助于降低”晶圓效應”
- 提高過程氣體測量精度，使其滿足挑戰性的 10 nm 級過程氣體化學控制要求
- 產品擁有穩定速度，可減少非生產性流量穩定步驟，支持 3D 設備加工
- 提高壓力變化補償能力并實現高級過程氣體控制，從而強化蝕刻和沉積控制
- 耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器擁有長期穩定性，可確保產率和通量
- 支持表面安裝和 VCR MFC 的插入式更換，便于對現有系統中的關鍵氣路進行升級
應用
- 半導體高級蝕刻工具
