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GF80 | GF81系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京北方大河儀器儀表有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/9/23 12:25:00
  • 訪問次數(shù)194
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意大利德爾特(DeltaOHM)公司專業(yè)致力于精密電子儀器儀表的生產(chǎn)與研發(fā)已經(jīng)超過30多年,產(chǎn)品測量范圍涉及:溫度、濕度、二氧化碳、壓力、風(fēng)速、太陽輻射、照度、雨量、噪音、空氣質(zhì)量IAQ、水質(zhì)分析等。產(chǎn)品類型分成手持式和傳感器/變送器,DeltaOHM只生產(chǎn)高精度高穩(wěn)定性的儀表,不做粗制濫造。現(xiàn)在已擁有意大利SIT實驗室校準(zhǔn)中心,和氣象實驗室。 目前意大利德爾特的氣象實驗室以下檢測項目被公眾認(rèn)可:溫度、聲學(xué)、輻射照度、壓力、濕度、風(fēng)速等。意大利德爾特的目標(biāo)是保持行業(yè)高標(biāo)準(zhǔn),為此,公司建立了SIT Centre n.124校準(zhǔn)中心,中心配置了實驗室裝備。
GF80/GF81系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表提升價值驅(qū)動型金屬密封應(yīng)用的性能標(biāo)準(zhǔn)對于許多工業(yè)和半導(dǎo)體加工過程,性能和成本效率同樣重要
GF80 | GF81系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器 產(chǎn)品信息

GF80 / GF81系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表

提升價值驅(qū)動型金屬密封應(yīng)用的性能標(biāo)準(zhǔn)

對于許多工業(yè)和半導(dǎo)體加工過程,性能和成本效率同樣重要。GF80 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器擁有以下兩個特點:設(shè)計采用與 GF100 系列響應(yīng)速度相同的傳感器以及第四代 MultiFlo™ 技術(shù),該產(chǎn)品是性價比運(yùn)營的正確選擇。另外,金屬密封的 MFC 擁有 MultiFloTM 多氣體/多量程功能所帶來的優(yōu)勢,原因是可用氣體方面沒有限制并且由于不會發(fā)生彈性體氧滲透而提升了氣體純度,同時還由于金屬密封件有效期相當(dāng)長而減少了維護(hù)工作量。

gf80

特點

  • 長期零點穩(wěn)定性,每年變動小于滿量程的 ± 0.5%
  • 1 秒內(nèi)穩(wěn)定
  • 滿量程流速高達(dá) 300 slpm
  • 全金屬密封流路 – 16µ 英寸 Ra 表面處理
  • 耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器可在較低溫度下工作,適用于易發(fā)生熱分解的氣體
  • 可編程 MultiFloTM 功能 – 一臺設(shè)備即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求,無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
  • 通過有源溫度補(bǔ)償實現(xiàn)的溫度系數(shù)規(guī)范
  • 內(nèi)嵌式常規(guī)自檢功能和獨立的診斷/維護(hù)端口
  • 帶有 VCR 配件的細(xì)線體設(shè)計
  • DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模擬接口

優(yōu)勢

  • 1 秒完成流量穩(wěn)定,消除廢氣和過程變量影響
  • 未采用會發(fā)生氧滲透并且使用一定時間之后需要進(jìn)行更換的彈性體密封件
  • MultiFloTM 精簡了過程氣體切換操作 — 無需再拆除并重新校準(zhǔn) MFC
  • 60 秒內(nèi)即可完成新氣體和/或量程的設(shè)定操作
  • 測量精度不受溫度變化影響
  • 可輕松訪問診斷端口以實現(xiàn)運(yùn)行時間
  • 規(guī)格緊湊,可輕松集成至緊張的設(shè)備空間內(nèi);設(shè)備改型的選擇
  • 多協(xié)議通信接口可簡化向現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作

應(yīng)用

  • 對翻新后的半導(dǎo)體加工工具中的原有 MFC 進(jìn)行經(jīng)濟(jì)高效的改型/升級
  • 減少六英寸/八英寸半導(dǎo)體工廠的 MFC 庫存
  • 用于 LED 和功率器件生產(chǎn)的 MOCVD
  • 太陽能/薄膜化學(xué)氣相沉積 (CVD) 系統(tǒng)
  • 分析用 OEM 設(shè)備

15700106413
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