| 品牌 | 其他品牌 | 適用基片尺寸 | 260mm直徑圓片，6英寸方片 |
|---|---|---|---|
| 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速范圍 | 1~12000RPM** | 旋轉(zhuǎn)加速度 | 30000RPM/S |
| 轉(zhuǎn)速精度 | ±0.1rpm |
一、勻膠機工作原理：
勻膠機(英文名：Spin Coater & Spin Processor) 行業(yè)俗稱：勻膠臺、甩膠機、旋涂機、涂膠機、鍍膜機、涂層機等，其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠旋涂機常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關。
二、德國POLOS勻膠機 SPIN200i產(chǎn)品概述：
SPIN200i采用了無刷式馬達，可實現(xiàn)基底片順時針、逆時針方向旋轉(zhuǎn)，擁有著比一般地有刷電機單向旋轉(zhuǎn)所沒有的優(yōu)勢，同時也具有著更好的耐腐蝕性，適應于鈣鈦礦太陽能電池制備、半導體芯片制造、MEMS制版的表面涂覆。且具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動，可以保證旋涂過程中膠厚度的一致性和均勻性。
三、德國POLOS勻膠機 SPIN200i主要性能指標：
1、適用基板尺寸：10-260mm直徑圓片，6英寸方片；
2、旋涂腔體直徑：302 毫米；
3、旋涂轉(zhuǎn)速范圍: 1~12000RPM**，±1rpm steps；
4、旋涂加速度：1~30000RPM/S；
5、旋涂精度: ±0.1rpm；
6、程序段數(shù)：無限制；
7、操作步數(shù)：無限制；
8、旋轉(zhuǎn)時間：無限制*，±0.1 Second steps；
9、旋轉(zhuǎn)方向：順時針，逆時針，順、逆時針交換擺動；
10、擴展接口：1個USB接口；
11、馬達保護：20-50kPa,2-5l/min,Tube OD ? 6mm（可關閉）；
12、馬達：無刷直流電機
13、腔體材質(zhì)：NPP（天然聚丙烯），特殊應用可選用高耐化學性的PTFE（TFM™）；
14、排廢連接：1" M-NPT；
15、觸屏控制：全彩觸摸屏控制界面；
16、配套真空泵系統(tǒng)：無 油 型 220~240伏交流，50/60赫茲；
