Escalab 250Xi型電子能譜儀是一臺多功能高性能的表面分析儀器，它可以用于研究各種固體材料樣品表面（1-10nm厚度）的元素種類、化學價態以及相對含量。結合離子刻蝕技術還可以獲得元素及化學態深度分布信息；通過成像技術可以獲得元素及化學態的面分布信息；利用微聚焦X射線源或電子束可以獲得微區表面信息。在金屬、玻璃、高分子、半導體、納米材料、生物材料以及催化等領域有廣泛應用。本儀器以X射線光電子能譜為主要功能，還帶有俄歇電子能譜、紫外光電子能譜、反射電子能量損失譜及離子散射譜等附件功能。主要功能特點如下：

1． 常規XPS，鑒別樣品表面的元素種類、化學價態以及相對含量。雙陽極XPS，更適合用于不同的特殊過渡金屬元素的研究，如催化領域。

2． 微區XPS分析（單色化XPS），用于樣品微區（＞20μm）表面成分分析，高能量分辨的化學態分析

3． 深度剖析XPS，結合離子刻蝕技術對樣品（如薄膜等）進行成分深度分布分析。通過角分辨XPS還可以進行非損傷成分深度分布分析。

4． XPS成像，可以對元素或化學態進行表面面分布分析，使一些分析結果更直觀。

5． 反射電子能量損失譜REELS技術，可實現氫元素的檢測。

6． 離子能量損失譜ISS，可實現樣品表面元素信息的檢測

7． 場發射俄歇AES，可實現樣品表面100nm尺寸下的元素信息檢測。可以進行成分分析、形貌像分析及掃描俄歇像分析等。

8． 紫外光電子能譜（UPS），可以獲得樣品價帶譜信息，對導體、半導體的能帶、帶隙等分析提供主要數據。還可以分析樣品逸出功等。

1. 極限能量分辨率 0.43eV

2. 分析室真空度優于 5×10^-10mbar

3. 能量分析范圍 0-5000eV

4. 通過能范圍 1-400eV