應用背景及范圍
隨著工業產業的迅猛發展,在制造業生產過程中常產生各種廢液。如液晶制造步驟或半導體制造步驟中產生混合有磷酸、醋酸及硝酸的混合酸廢液,這些廢液的隨意排放不僅造成環境污染,水體污染,而且導致廢液中的各種有機酸、無機酸被浪費。傳統對廢酸進行處理時,一般對其進行中和處理,之后直接排放至大自然中。
本裝置適合于半導體制造過程中的混合廢酸處理及相關領域的工業生產。
本裝置適合于半導體制造過程中的混合廢酸處理及相關領域的工業生產。
工藝原理
利用磷酸、醋酸及硝酸的沸點和揮發度相差較大,采用分餾方法將磷酸、醋酸及硝酸分離開,得到一定濃度的磷酸和醋酸、硝酸的混合酸。其中在醋酸、硝酸的混合酸在加入氫氧化鈉,經合成濃縮結晶分離后,得到產品醋酸鈉。
裝置特點
結合混酸的腐蝕特性、生產的安全環保要求以及投資運行成本,本裝置在具備以下特點:
1.本裝置工藝成熟,*、合理,同時節能顯著,無需化學試劑,無二次污染,采用分餾方法將混酸中需要的產品分開,進行資源的回收利用。尾氣處理,通過二級吸收,使其尾氣達標排放。
2.本裝置處理能力大,結構緊湊,占地面積小,操作方便,工藝簡單 環保、投資小。
2.本裝置處理能力大,結構緊湊,占地面積小,操作方便,工藝簡單 環保、投資小。
3.在正常工況下,本裝置能正常穩定運行。本裝置運行時工人勞動強度低,可實現全自動智能運行;
4.低維護成本:整套裝置主要是由動、靜設備和管線、泵、儀表等組成,日常維護工作量小,維護成本很低。
5.運用靈活:本裝置具有結構緊湊,靈活多變??筛鶕a、市場等情況,生產得到不同的產品。
4.低維護成本:整套裝置主要是由動、靜設備和管線、泵、儀表等組成,日常維護工作量小,維護成本很低。
5.運用靈活:本裝置具有結構緊湊,靈活多變??筛鶕a、市場等情況,生產得到不同的產品。