一、勻膠機吸盤產(chǎn)品概述：

勻膠機的吸盤（英文名稱：chuck）又稱勻膠機載物盤，勻膠機托盤、真空托盤、勻膠機片托等。

根據(jù)勻膠機固定基片的方式不同又可細分為真空托盤和非真空托盤，而我們口中常說的“吸盤"便是采用真空吸附的方式，將基片吸附在真空托盤表面。由此而衍生的轉接托盤（圖1）便是利用同心圓的原理來實現(xiàn)基片和電機旋轉的轉速達到一致；

此外，本著節(jié)約資源、綠色環(huán)保的理念，我們絕大多數(shù)勻吸盤的材質均采用的是天然聚丙烯（NPP）。天然聚丙烯（NPP）優(yōu)點在于其不僅無毒、無臭、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好，還具有耐化學性、電絕緣性、高強度機械性能和良好的高耐磨性等特點。當然，考慮到每個用戶實際工藝需求，比如在要旋涂一些溫度較高的基片時，我們也可以根據(jù)勻膠機的種類來提供相匹配的金屬或者不銹鋼材質吸盤（圖2、圖3）。

二、如何選擇合適的勻膠機吸盤？

勻膠機在旋涂過程中一般采用自轉式旋涂的方式來完成工藝。因此基片需要固定在旋轉吸盤上，通常采用的方法是真空吸附，所以吸盤的大小以及真空的強度兩者對基片吸附后產(chǎn)生的形變有一定的影響，如吸盤面積越小，吸附后產(chǎn)生的形變就越大,這時所旋涂的基片片內(nèi)膜厚誤差會加大，且容易產(chǎn)生干涉花紋，通過實際驗證后得出：吸盤面積占所吸附基片面積的1/2~2/3為佳。

我們可提供各式各樣的吸盤（chuck），歡迎您把您的需求、想法告訴我們！