GF40 系列橡膠密封熱式質量流量計和控制器
彈性體密封熱
一臺設備，適用于多種氣體和多種流量，的靈活性
使用一臺設備應對多種氣體相當于實現了工藝靈活性和生產效率。采用布魯克斯儀器 MultiFlo™ 技術的 GF40 系列橡膠密封熱式質量流量計和控制器適用于那些使用多種氣體、需要頻繁切換氣體類型或是需要在保證氣體測量和控制準確性的同時重新設定測量范圍的系統、工藝和設施。該產品流量測量和控制性能相結合，能夠將工藝靈活性
特點
- 可編程多氣體/多量程功能
- Brooks® MultiFlo™ 氣體數據庫包含數千種天然氣體測定結果，可用于建立修正函數
- 流量響應時間不足 1 秒，精度可達目標應用設定值的 1%
- 非常適用于各種氣體
- 快速響應，哈氏合金傳感器
- 擁有獨立于工具通信并可輕松接入的診斷服務端口
- 多協議通信選件包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485 模擬接口
優勢
- MultiFlo™ 技術能夠在不拆除管路中 MFC 的條件下設定新氣體和滿量程，從而延長運行時間
- MultiFlo™ 編程功能簡單、易用；60 s 內即可完成新氣體的選擇操作
- 可大幅降低設備商和大型終端用戶的流量控制器庫存
- 得益于基于國際標準的計量系統和校準技術，產品擁有出色的工藝氣體測量精度
- 耐腐蝕傳感器擁有長期穩定性，可確保良率和產能
- 對用戶開放的服務端口簡化了故障排除和診斷操作
- 各種橡膠密封件為各種應用提供了經濟實惠的性能靈活性
- 多協議通信接口可集成至現有系統
應用
- 太陽能電池化學氣相沉積
- 生命科學實驗室
- 真空處理
- 納米技術/MEMS 制造
- 等離子體、玻璃和卷繞鍍膜系統
- 非常適用于管匯系統/氣體輸送系統
