密析爾 Pura 高純氣露點變送器/在線露點儀
在很多超純氣應用，諸如半導體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。
Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的專業(yè)經驗，結合標準工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價位變送器。
Pura高純氣體露點變送器
這款小巧的變送器擁有堅固而獨立的傳感器，專門用來測量超高純氣體中的微量水分含量。
Pura使用和安裝簡單，可選兩線制、三線制和危險區(qū)域的型號，是一款可自定義的產品，可以滿足各種特殊需求。
亮點
- 測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)
- 測量穩(wěn)定，重復性好
- 高度集成的采樣裝置
- 模擬和數(shù)字輸出
- 安裝簡便
- VCR 過程接口
- 設計緊湊小巧
- 顯示/報警單元可選
高純氣體微量露點變送器
在許多高純氣體的應用中，如半導體行業(yè)，氣體的殘留水分對于工藝操作的影響是至關重要。
根據(jù)以往的經驗，微量水分測量一直是一個難題，這需要使用復雜或昂貴的分析儀測量。現(xiàn)在，密析爾推出了一款簡單、經濟的產品，可以在線測量露點達-120°C （小于1ppb）。
Pura露點變送器的優(yōu)勢在于密析爾阻抗傳感器生產和校準的經驗和專長。工業(yè)標準材料和制造工藝結合的低成本變送器，適用于大規(guī)模集成半導體制造廠或高純氣體管線中。
使用簡單
這種獨立的變送器設計成可無縫接入純氣的過程應用中，并可提供可靠的測量結果。
Pura的傳感器外殼是由冷拉不銹鋼制成，內部采用0.25Ra μm，以達到最小的吸濕性，潔凈度達到清潔室標準。
該變送器交付完整的校準和操作，并提供4-20mA的校準輸出，能夠連接到密析爾的顯示模塊或控制系統(tǒng)。
該產品的設計具有最小的內部結構。這確保了過程應用中最kuai的響應速度，也保證了濕度測量時的最kuai響應速度。傳感器密封墊圈可以在最小壓力10-9torr內工作，同時整個系統(tǒng)可承受的最da壓力為240 Barg (3480 psi)。
安裝和操作簡便
Pura安裝簡單。¼”外螺紋VCR氣體接口的間距為 120mm，符合標準。整個產品的高度僅為150mm，重量小于500g。Pura是一個兩線或三線制的變送器，提供最da的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。
可選的顯示
假如應用中需要顯示露點值或濕度值，Pura可以提供兩種顯示。顯示器可以很容易連接，也可以作為Pura的電源。
服務與校準
密析爾為想要最少停機時間和設備可追溯性的用戶提供以下兩種服務：
傳感器替換 –用戶可以簽訂一個有保障的合同，可以更換傳感器。當傳感器出現(xiàn)問題時，可以把更換下來的傳感器返回密析爾檢測，從而實現(xiàn)零停機時間。
校準 – 用戶將傳感器返回密析爾，密析爾會對返回的傳感器進行檢查和校準。這樣為過程中的傳感器就可以實現(xiàn)可追溯性。
陶瓷阻抗傳感器
Pura采用阻抗技術，是基于水分子的導電性。密析爾的陶瓷濕度傳感器采用具有的厚薄膜技術。
在半導體化的陶瓷基底上，均勻的敷涂了金屬導電層。導電層之間的感濕層能感受到氣體樣品中的水蒸氣分壓。水氣分壓決定了水分子進入感濕層的水分子的數(shù)量，即對應于導電層之間的阻抗值。露點值和水氣分壓有一一對應關系。經過校驗，阻抗值和露點值的對應關系建立起來，被儲存在變送器的芯片中。
傳感器采用半導體極的陶瓷材料作為基底，給予傳感器的結構強度和均勻特性。使密析爾濕度傳感器具備其他氧化鋁傳感器所的穩(wěn)定性。
技術指標 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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