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HMDS基片預(yù)處理系統(tǒng)/充HMDS氣體真空烘箱/HMDS真空烤箱(容積:210升)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海和呈儀器制造有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)HMDS-6210
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/9/15 7:23:40
  • 訪問(wèn)次數(shù)184
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上海和呈儀器制造有限公司主要提供:高低溫試驗(yàn)箱、高溫箱、恒溫恒濕試驗(yàn)箱、低溫箱、恒溫恒濕機(jī)、真空烘箱、高低溫交變?cè)囼?yàn)箱、高低溫沖擊試驗(yàn)箱、高低溫濕熱試驗(yàn)箱、防潮柜、鼓風(fēng)干燥箱等系列恒溫干燥設(shè)備產(chǎn)品,其產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于:制藥;機(jī)械;高校;電子;化工;醫(yī)療機(jī)構(gòu);食品;科研單位等各個(gè)領(lǐng)域?! ASUC非常感謝過(guò)往所有企業(yè)客戶為HASUC所提供的合作機(jī)會(huì),并為我們的合作深感榮幸。經(jīng)過(guò)多年的努力,我們不僅對(duì)產(chǎn)品技術(shù)進(jìn)行了改進(jìn),而且對(duì)于售前、售后服務(wù)理念也有很高的提升,我們的服務(wù)宗旨是“開(kāi)拓、拼搏、實(shí)干、奉獻(xiàn)”,一切以用戶需求為中心,希望通過(guò)專業(yè)水平和不懈努力,塑造企業(yè)品牌形象,為產(chǎn)品品牌推廣文化發(fā)展提供服務(wù)指導(dǎo)。   我們注重品質(zhì)和服務(wù),為打造“HASUC”的品牌形象,公司每年對(duì)銷售部、市場(chǎng)部、產(chǎn)品研發(fā)部、技術(shù)部、售后服務(wù)部各部門指導(dǎo)服務(wù)。在2012年度劃分了區(qū)域,各業(yè)務(wù)員和售后服務(wù)人員有了更遠(yuǎn)的目標(biāo)?! 」靖鞴芾頇C(jī)制開(kāi)展以來(lái),HASUC每位員工一直秉承以用戶需求為核心,在專注全國(guó)各大中型城市市場(chǎng)開(kāi)拓的同時(shí),也為偏遠(yuǎn)郊區(qū)的客戶提供了專項(xiàng)服務(wù),解決了偏遠(yuǎn)地區(qū)運(yùn)輸不便的難題。優(yōu)質(zhì)、用心的服務(wù)贏得了眾多企業(yè)和個(gè)人的信賴和好評(píng),在國(guó)內(nèi)干燥設(shè)備市場(chǎng)已樹立起公司良好品牌形象。我相信,通過(guò)我們的不斷努力和追求,一定能夠?qū)崿F(xiàn)與中小企業(yè)的互利共贏!  在HASUC,我們不變的使命是為企業(yè)客戶提供更多品質(zhì)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)服務(wù),我們能為您做的還有更多!
產(chǎn)品型號(hào):HMDS-6210HMDS預(yù)處理系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):1、機(jī)外殼采用不銹鋼SUS304材質(zhì)制造,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置
HMDS基片預(yù)處理系統(tǒng)/充HMDS氣體真空烘箱/HMDS真空烤箱(容積:210升) 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品型號(hào): HMDS-6210 HMDS預(yù)處理系統(tǒng)
產(chǎn)品特點(diǎn):
1、機(jī)外殼采用不銹鋼SUS304材質(zhì)制造,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。
2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。
3、微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。
4、智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時(shí)間。
5、HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),真空箱密封,確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。
6、整個(gè)系統(tǒng)采用材料制造,無(wú)發(fā)塵材料,適用100 級(jí)光刻間凈化環(huán)境。
產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):
電源電壓:AC 380V±10%/50Hz±2%
輸入功率:4000W
控溫范圍:室溫+10℃-250℃
溫度分辨率:0.1℃
溫度波動(dòng)度:±0.5℃
達(dá)到真空度:133Pa
容積:210L
工作室尺寸(mm):560*640*600
外形尺寸(mm):720*820*1050
載物托架:3塊
時(shí)間單位:分鐘
選配件
真空泵:德國(guó)品牌,萊寶“DC”雙極系列旋片式油泵,真空高,噪音低,運(yùn)行穩(wěn)定。
連接管:不銹鋼波紋管,密封將真空泵與烘箱連接。
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的原理:
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)烘箱HMDS預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程:
先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空,待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后,開(kāi)始充人氮?dú)猓涞竭_(dá)到某低真空度后,再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程,到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后,開(kāi)始保持一段時(shí)間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空,充入HMDS氣體,在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后,停止充入HMDS藥液,進(jìn)入保持階段,使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后,再次開(kāi)始抽真空。充入氮?dú)猓瓿烧麄€(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖:先加熱到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應(yīng),在硅片表而生成硅醚,消除氫鍵作,從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。
尾氣排放等:多余的HMDS蒸汽(尾氣)將由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道。在無(wú)專用廢氣收集管道時(shí)需做專門處理。
圖片: 外殼冷軋板烤漆


外殼不銹鋼材質(zhì)

關(guān)鍵詞:加熱器 真空泵
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