高精度勻膠機Polos300 是300mm單片勻膠機SPIN COATER,專為MEMS、半導體、光伏、微流體等領域的研發和小批量生產而設計，適用于所有典型的旋涂工藝：清潔、沖洗/干燥、涂層、顯影和蝕刻。
高精度勻膠機采用全塑料無縫構建，外殼采用天然聚丙烯（NPP）或可選PTFE，適用于處理5mm到小于等于300mm的晶圓襯底或8''x 8”的方形基板。
高精度勻膠機特點
•自動化學品分配：
•通過多達6個噴嘴分配液體
•每個都可編程，用于順序或并行分配
•透明/透明圓頂ECTFE蓋，帶集成N2噴淋清洗
•天然聚丙烯（NPP）無縫全塑料外殼
•高耐化學性PTFE（TFM）無縫全塑料外殼
•臺式旋涂機型號：尺寸：43cm（寬）x 65cm（深）x 31cm（高）
•基板晶片尺寸：碎片和基板360mm或8“x8”
•重型伺服控制電機：
•確保可重復的轉速
•轉速可調，1至10000 rpm
•順時針和逆時針旋轉
•用于顯影的puddle功能
•通過帶手套的手指友好型全尺寸鍵盤和LED背光顯示屏，輕松逐步編程
•可編程數字過程控制器：
•存儲多個程序，每個程序包含99步配方，用于：
•速度1-10.000rpm、時間、加速度
•真空開/關
•繼電器打開/關閉
•多用戶訪問級別
•2個可編程開/關開關輸出eg.用于分配開/關、氮氣開/關等。
•排水連接
•符合CE標準
高精度勻膠機規格參數
程序數：無限制
程序的步進數：無限制
旋涂速度：1-12000rpm (+/-1rpm步）
旋涂速度精度：± 0.1 rpm
旋涂旋轉方向：順時針，逆時針，puddle浸置式
加速度：30000rpm/s
旋涂時間：無限制
外殼材質：NPP或PTFE
旋涂室材質：NPP或PTFE
外部鏈接：1個USB接口連接控制器
襯底直徑：360mm圓形或8''x8''方形
旋涂室直徑：402mm
430 (w) x 310 (h) x 650 (d) mm
重量：32kg
供電要求：200-240VAC
功耗：1800W
真空：- 80 kPa (-24 inchHg), ≥ 80 lpm Tube OD Ø8mm
輔光精密儀器（上海）有限公司是的進口精密儀器和實驗室儀器供應商,是基于激光和成像等*光子技術分析測試儀器的規模性進口商和供應商和服務商。輔光儀器公司以精密光學技術為特色，以光學應用為宗旨，以歐洲,北美和日本進口精密儀器為主業,為中國客戶提供分析測試儀器產品,促進光學技術產品在中國的應用和相關技術水平提升。21世紀是光學世紀,激光,光譜,光學成像等光學技術極大地促進生物光子學,燃燒和流體力學光學診斷,光譜測試分析等學科發展和技術提升，成為前沿科學和*制造*的分析,計量,測試和實驗工具手段，因此“光學”成為“精密”的代名詞,是精密測試分析的有力實驗技術。輔光精密儀器公司就是這樣一個以光學為特色的進口分析測試儀器和實驗室儀器高科技公司,擁有齊全的進口精密光學儀器種類,數量龐大而可靠的國外生產商群體和快捷高效的國際貿易體系,是用戶信賴的進口分析測試技術儀器和實驗室儀器的旗艦型供服務商。
